【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产,具体为一种化学品废液自动不间断回收设备。
技术介绍
1、在半导体的生产和制作的过程中,往往会有大量各种废液的产生,必须对这些废液回收并进行专门处理。在半导体生产包括晶圆制备、研磨及硅片清洗等操作过程中,所都需要的强酸、强碱等其类似液体使用后都要进行处理,这些处理液会与其他物质接触后容易变成废液,因此需要对这些废液进行回收并进行专业废液的环保处理,防止污染生产环境。
2、在生产场地内,对于这些废液的回收处理,往往会因为回收废液的单桶内收集满了废液没有及时将废液桶移出更换,或者将桶内的废液进行处理,就会导致废液溢流,若是流到地上就会对生产环境造成严重的污染,而且还会对工作人员的身体造成损害。
3、现有技术中,技术202222642487.6公开了一种废液处理装置,用于涂胶操作。其在储液罐中设置容纳溶剂的第一容纳腔,在处理罐中设置了第二容纳腔,分别对应于管道的上游段和下游段,使得上游段与第一容纳腔相连通,下游段与第二容纳腔相连通,从而利用该废液处理装置很好地对管道进行清洗,解决管道堵塞的问题。
...【技术保护点】
1.一种化学品废液自动不间断回收设备,其特征在于:该设备结构组成包括有柜体(1)废液池(14)和废液桶(10),在所述柜体(1)的顶部右侧固定安装有所述的废液池(14),所述柜体(1)的底部内壁两侧均滑动连接有移动台(4),所述移动台(4)的顶部设置有放置台(3),所述放置台(3)上设置有平台秤(18),所述平台秤(18)上设置有废液桶(10),所述废液池(14)的底部固定安装有贯穿并延伸至废液桶(10)内部的第二连接管(15),所述第二连接管(15)的一侧固定安装有第一连接管(13),所述第一连接管(13)的一侧外圈与第二连接管(15)的外圈下部均安装有遮挡盖(2)
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【技术特征摘要】
1.一种化学品废液自动不间断回收设备,其特征在于:该设备结构组成包括有柜体(1)废液池(14)和废液桶(10),在所述柜体(1)的顶部右侧固定安装有所述的废液池(14),所述柜体(1)的底部内壁两侧均滑动连接有移动台(4),所述移动台(4)的顶部设置有放置台(3),所述放置台(3)上设置有平台秤(18),所述平台秤(18)上设置有废液桶(10),所述废液池(14)的底部固定安装有贯穿并延伸至废液桶(10)内部的第二连接管(15),所述第二连接管(15)的一侧固定安装有第一连接管(13),所述第一连接管(13)的一侧外圈与第二连接管(15)的外圈下部均安装有遮挡盖(2)。
2.根据权利要求1所述的一种化学品废液自动不间断回收设备,其特征在于:所述柜体(1)的底部表面两侧均固定安装有支撑框架(7),且支撑框架(7)上通过螺栓固定安装有伺服电机(5),所述伺服电机(5)的输出端安装有齿轮(8)。
3.根据权利要求1所述的一种化学品废液自动不间断回收设备,其特征在于:所述移动台(4)的底部表面中部固定安装有支撑板(9),所述支撑板(9)的底部表面中部开设有安装槽,且安装槽内固定安装有齿条(20),所述齿条(20)与伺服电机(5)的输出端所安装的齿轮(8)相啮合。
4.根据权利要求1所述的一种化学品废液自动不间断回收设备,其特征在于:所述柜体(1)的底部内壁两侧均开设有两条滑槽,且滑槽内放置有滑块,且滑块的外壁与移动台(4)的底部固定连接,且滑槽的竖截面成t形。
5.根据权利要求3所述的一种化学品废液自动不间断回收设备,其特征在于:所述柜体(1)的底部内壁两侧均开设有凹槽,所述支撑板(9)位于该凹槽内移动,所述柜体(1)的底部内...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁红伟,郭俊杰,骆晓庆,徐光胜,成苗,
申请(专利权)人:上海亿鼎技术集团有限公司,
类型:发明
国别省市:
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