一种带安装结构的屏蔽罩制造技术

本技术公开了一种带安装结构的屏蔽罩，包括分体结构的屏蔽护罩和安装梁架、以及固定连接的立柱和升降滑台气缸，所述安装梁架包括分体结构的固定梁和固定板，所述固定梁上设有调节组件，所述调节组件包括双向螺杆和对称分布的滑块，所述双向螺杆贯穿滑块，所述双向螺杆安装在固定梁的内部，所述滑块上设有定位柱；立柱上的限位耳嵌入固定梁内部，双向螺杆旋转时，对称的滑块滑动，以及定位柱贯穿限位耳，使立柱得到固定，立柱的安装方式简单，可拆装立柱和拆装屏蔽护罩，屏蔽护罩被升降滑台气缸驱动上升，不影响工件的取放和调节，屏蔽护罩屏蔽住半导体检测设备内部检测器件与工件，避免内部器件与工件受到外部杂质的干扰。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体加工设备，具体涉及一种带安装结构的屏蔽罩。

技术介绍

1、半导体设备泛指用于加工生产各种类型半导体产品使用的生产设备，中国技术授权专利申请号为cn202122960299.3公开了一种半导体设备加工专用防护组件，半导体设备是半导体生产用的加工设备；半导体检测设备是对生产产品进行检测的一种半导体加工设备，主要利用电子显微镜、x射线探测仪、红外热成像仪等方法检测半导体产品的质量和性能；

2、对半导体产品进行性能检测时，一般操作人员将工件置于半导体检测设备内部，操作人员操作按键控制程序，自动进行检测，但是在自动检测的操作过程中，为了便于操作人员取放工件或者调节工件位置，检测设备内部检测器件处于暴露状态，内部检测器件与工件处于未被屏蔽的状态，工件表面粘附外部杂质情况下，检测结果容易出现误差；半导体检测设备检测工件时，存在内部检测器件与工件处于未被屏蔽的状态的问题，为此本申请提出一种带安装结构的屏蔽罩。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种带安装结构的屏蔽罩，以解决上述
技术介绍
中提出的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带安装结构的屏蔽罩，包括分体结构的屏蔽护罩(1)和安装梁架(2)、以及固定连接的立柱(3)和升降滑台气缸(4)，其特征在于：所述安装梁架(2)包括分体结构的固定梁(21)和固定板(22)，所述固定梁(21)上设有调节组件，所述调节组件包括双向螺杆(212)和对称分布的滑块(213)，所述双向螺杆(212)贯穿滑块(213)，所述双向螺杆(212)安装在固定梁(21)的内部，所述滑块(213)上设有定位柱(2131)，所述立柱(3)的侧面上设有嵌入固定梁(21)内部的限位耳(31)，所述升降滑台气缸(4)上设有与屏蔽护罩(1)连接的连接板(5)，所述屏蔽护罩(1)相背的表面上设有导...

【技术特征摘要】

1.一种带安装结构的屏蔽罩，包括分体结构的屏蔽护罩(1)和安装梁架(2)、以及固定连接的立柱(3)和升降滑台气缸(4)，其特征在于：所述安装梁架(2)包括分体结构的固定梁(21)和固定板(22)，所述固定梁(21)上设有调节组件，所述调节组件包括双向螺杆(212)和对称分布的滑块(213)，所述双向螺杆(212)贯穿滑块(213)，所述双向螺杆(212)安装在固定梁(21)的内部，所述滑块(213)上设有定位柱(2131)，所述立柱(3)的侧面上设有嵌入固定梁(21)内部的限位耳(31)，所述升降滑台气缸(4)上设有与屏蔽护罩(1)连接的连接板(5)，所述屏蔽护罩(1)相背的表面上设有导向块(13)。

2.根据权利要求1所述的一种带安装结构的屏蔽罩，其特征在于：所述固定梁(21)为倒置的“u”型结构，所述固定梁(21)相背的表面上开设有矩形的活动槽，所述双向螺杆(212)和滑块(213)安装在活动槽内部，所述双向螺杆(212)的中心位置贯穿有固定环，所述固定板(22)表面上开设有与固定环对立的矩形槽。

3.根据权利要求2所述的一种带安装结构的屏蔽罩，其特征在于：所述固定梁(21)侧面开设有与活动槽连通的限位孔(211)，所述限位耳(31)与限位孔(211)配合。

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【专利技术属性】
技术研发人员：孙鸿运，
申请(专利权)人：昆山科迪特精密工业有限公司，
类型：新型
国别省市：