【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于衬底表面处理，具体的说是一种金刚石衬底表面处理装置及表面处理方法。
技术介绍
1、目前国际汽车系统，散热是车辆运行效率核心问题之一，主要有自然散热、风扇排热、水冷等液态排热等多种散热模式，都是为了提高车辆能源效率。利用金刚石材料做汽车功率芯片的衬底，包括芯片散热、热沉、汽车电子的模组的散热等，是目前散热最新技术方案，金刚石衬底在生产时需要采用表面处理装置进行表面处理。
2、公开号为cn115476215a的一项中国专利公开了一种超薄衬底的制备装置，包括底座和承载板，所述承载板上固定连接有第一吸盘，将晶圆底衬放置在第一吸盘上，通过第一吸盘对晶圆底衬进行吸附固定；打磨块，所述打磨块活动连接在承载板的上方，打磨块与晶圆底衬接触后，打磨块转动实现对晶圆底衬进行打磨；装液箱，所述装液箱固定连接在底座的上方，所述装液箱内连通有喷液管，在打磨块对晶圆底衬进行打磨时，效果是实现对晶圆底衬上下表面进行冷却，使晶圆底衬的上下表面温度保持一致，防止晶圆底衬上表面温度不一样，影响晶圆底衬的性能，同时在晶圆底衬的上下表面都喷冷却液，提高
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1.一种金刚石衬底表面处理装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种金刚石衬底表面处理装置，其特征在于：所述固定架（2）的底部固接有两个固定板（21），两个所述固定板（21）之间通过轴承转动连接有第一丝杆（211），其中一个所述固定板（21）上固接有第一电机（214），所述第一电机（214）的输出轴固接在第一丝杆（211）的一端，所述第一丝杆（211）上螺纹连接有移动块（213），两个所述固定板（21）之间固接有两个导向杆（212），所述移动块（213）滑动连接在两个导向杆（212）上。
3.根据权利要求2所述的一种金刚石衬底表面处理装置，其特...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石衬底表面处理装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种金刚石衬底表面处理装置，其特征在于：所述固定架（2）的底部固接有两个固定板（21），两个所述固定板（21）之间通过轴承转动连接有第一丝杆（211），其中一个所述固定板（21）上固接有第一电机（214），所述第一电机（214）的输出轴固接在第一丝杆（211）的一端，所述第一丝杆（211）上螺纹连接有移动块（213），两个所述固定板（21）之间固接有两个导向杆（212），所述移动块（213）滑动连接在两个导向杆（212）上。
3.根据权利要求2所述的一种金刚石衬底表面处理装置，其特征在于：所述移动块（213）的底部固接有电动推杆（22），所述电动推杆（22）的输出端固接在安装座（223）的顶部；所述电动推杆（22）的侧壁上对称固接有两个侧板（221），所述安装座（223）的顶部固接有两个滑柱（222），两个所述侧板（221）分别滑动连接在滑柱（222）上。
4.根据权利要求3所述的一种金刚石衬底表面处理装置，其特征在于：所述工作台（1）上开设有加工槽，所述第一滤板（31）通过轴承转动连接在加工槽内；所述加工槽的底部内壁上固接有第五电机（319），所述第五电机（319）的输出轴固接有u形架（317），所述u形架（317）的顶部固接在第一滤板（31）的底部；所述u形架（317）的底部内壁上固接有第四电机（316），所述第四电机（316）的输出轴固接有第二丝杆（315），所述第二丝杆（315）的顶部通过轴承转动连接在第一滤板（31）的底部；所述第二丝杆（315）上螺纹连接有升降块（314），所述第一滤板（31）上开设有四个滑动口（311），所述滑动口（311）内均滑动连接有滑块（312），所述滑块（312）的底部均通过销轴转动连接有连接杆（313），所述连接杆（313）的一端均通过销轴转动连接在升降块（314）上，四个所述连接杆（313）圆周排列在第二丝杆（315）的外侧。
5.根据权利要求4所述的一种金刚石衬底表面处理装置，其特征在于：所述加工槽的底端内壁上固接有第二滤板（32），所述工作台（1）的一端开设有收集腔（321），所述收集腔（321）的一侧安装有封堵板（322），所述第五电机（319）的输出轴固接...
【专利技术属性】
技术研发人员：周亮，王兵，喻礼海，
申请(专利权)人：威刚北京汽车有限公司，
类型：发明
国别省市：
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