一种ARVR树脂晶圆工艺制造技术

本发明专利技术公开一种ARVR树脂晶圆工艺，包括：制备待测树脂晶圆和基准试片，对待测树脂晶圆的微纳结构区域进行定位标记，得到检测样本；对检测样本和基准试片进行多维光谱表征，通过对比分析确定检测样本的材料不均匀分布区，并得到分子结构表征数据；对材料不均匀分布区进行应力场检测和动态响应分析，得到力学特性表征数据和高危缺陷点；对高危缺陷点进行微观结构和形貌分析，得到缺陷特征数据；根据分子结构表征数据、力学特性表征数据和缺陷特征数据进行系统评估，得到树脂晶圆的健康度评定结果。本发明专利技术技术方案能够对AR/VR用树脂晶圆中的微纳结构区域进行多尺度特征表征，实现了对材料分子态、界面应力和相变等特征的系统检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ar/vr光学器件的材料检测，尤其涉及一种arvr树脂晶圆工艺。

技术介绍

1、在增强现实（augmented reality，ar）和虚拟现实（virtual reality，vr）技术的发展过程中，树脂晶圆作为一种新型光学器件的关键组成部分，凭借其轻质、高可塑性以及易于微纳加工等优点，正在逐步取代传统的玻璃或硅基衬底材料。这种树脂晶圆是ar/vr光学系统中不可或缺的核心部件，其上通常集成有衍射光栅、波导层和微透镜阵列等复杂的微纳结构，这些结构共同作用来实现ar/vr设备所需的光学功能，如光线的耦合、传导和出射等，从而保证设备具有大视场、高透过率和低畸变等优良的光学性能。

2、然而，与单一晶体或均质玻璃不同，树脂晶圆在多次固化、蚀刻和贴合等工艺过程中会发生显著的分子结构演变：其内部交联网络可能在不同区域形成不同程度的链段取向，无机或有机改性的添加剂也会以不均匀方式分散，从而在微纳结构附近累积局部应力。更为复杂的是，当这些树脂晶圆被叠加或组合成多层光学元件时，各层之间的粘接界面可能出现兼具化学不相容与物理应力集中的现象，引发微裂纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ARVR树脂晶圆工艺，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的ARVR树脂晶圆工艺，其特征在于，所述对所述待测树脂晶圆的微纳结构区域进行定位标记，得到检测样本，包括：

3.根据权利要求2所述的ARVR树脂晶圆工艺，其特征在于，所述获取所述预处理晶圆上的衍射光栅边缘、贴合层接口和微透镜阵列中心的坐标位置，建立检测路径，包括：

4.根据权利要求1所述的ARVR树脂晶圆工艺，其特征在于，所述对所述检测样本和所述基准试片进行多维光谱表征，通过对比分析确定所述检测样本的材料不均匀分布区，并得到分子结构表征数据，包括：

5.根据权利要求4所...

【技术特征摘要】

1.一种arvr树脂晶圆工艺，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的arvr树脂晶圆工艺，其特征在于，所述对所述待测树脂晶圆的微纳结构区域进行定位标记，得到检测样本，包括：

3.根据权利要求2所述的arvr树脂晶圆工艺，其特征在于，所述获取所述预处理晶圆上的衍射光栅边缘、贴合层接口和微透镜阵列中心的坐标位置，建立检测路径，包括：

4.根据权利要求1所述的arvr树脂晶圆工艺，其特征在于，所述对所述检测样本和所述基准试片进行多维光谱表征，通过对比分析确定所述检测样本的材料不均匀分布区，并得到分子结构表征数据，包括：

5.根据权利要求4所述的arvr树脂晶圆工艺，其特征在于，所述对所述检测样本进行荧光寿命检测和光学各向异性检测，获得第二光谱数据，包括：

6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄爱群，刘鹏，钟召民，
申请(专利权)人：东莞市元立光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：