【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体设备，更具体地说，是涉及一种支撑环上料机构。
技术介绍
1、在晶圆的生产制程中，一般包括晶圆研磨及贴膜、撕膜等作业步骤。由于晶圆直径较大且厚度较薄，为避免在上述作业步骤的晶圆转运过程中造成晶圆断裂等问题发生，一般采用支撑环将晶圆撑起，具体地，支撑环的内径大于晶圆直径，在支撑环上覆盖有用于将晶圆粘附的膜层，如此，可通过吸附支撑环以实现晶圆的转运，从而避免直接吸取晶圆而可能导致的晶圆局部受力过大导致的损坏情况。在相关技术中，晶圆贴膜机中支撑环上料机构受限于设置位置及数量影响，导致支撑环的供应速度较慢，影响整体的作业效率。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种支撑环上料机构，以解决现有技术中存在的支撑环供应效率较慢的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是，提供一种支撑环上料机构，其包括：
3、架体，在所述架体上设置有上料位以及两个储料位；
4、送料装置，设置于所述架体；所述送料装置包括两组送料组件，每一送料组件均包括二轴运动机构和设置于所述二轴运动机构上的料架组件，所述料架组件用于承载支撑环，所述二轴运动机构用于驱动所述料架组件在上料位及任意两个所述储料位之间移动；
5、吸取装置，设置于架体，包括移动机构和吸取机构，所述移动机构用于驱动所述吸取机构移动至所述上料位以吸取支撑环。
6、可选地，每一所述二轴运动机构包括直线移动机构和升降机构，所述升降机构沿所述直线移动机构的移动方向滑
7、可选地，所述直线移动机构包括第一电机和与所述第一电机输出轴连接的同步带机构；在所述架体上、位于所述直线移动机构的一侧设置有滑轨，所述升降机构滑动设置于所述滑轨且与所述同步带机构连接。
8、可选地，所述升降机构包括第二电机和由所述第二电机驱动的丝杆螺母组件，所述料架组件设置于所述丝杆螺母组件的螺母上。
9、可选地，所述料架组件包括承载台、料盘和设置于所述料盘上的至少一组定位杆；所述承载台与所述升降机构连接，所述料盘可拆卸设置于所述承载台，每一组所述定位杆包括若干沿同一圆周方向阵列设置的定位杆。
10、可选地，不同组所述定位杆中的各所述定位杆沿具备不同直径的圆周方向阵列设置。
11、可选地，在所述承载台上设置有定位件，所述料盘上对应设置有用于供所述定位件嵌插的定位孔。
12、可选地，所述吸取机构包括吸取架和沿径向活动设置于所述吸取架上的若干吸嘴，各所述吸嘴的吸取直径可变径设置。
13、可选地，在所述吸取架上设置有气缸及滑轨组件，所述吸嘴滑动设置于所述滑轨组件且与气缸的驱动端连接。
14、可选地，在所述上料位设置有伸缩罩以及用于驱动所述伸缩罩移动以覆盖所述储料位的驱动组件。
15、本申请实施例提供的支撑环上料机构，至少具有以下有益效果：
16、通过在架体上设置两个储料位以及一个上料位，上料位设置于两个储料位之间的中间位置；同时，对应于两个储料位设置两组送料装置，每组送料装置中的二轴运动机构用于驱动料架组件在两个储料工位之间来回移动，以进行支撑环的堆叠及缓存。如此，其中一个料架组件在上料位进行上料时，另一个料架组件可先在第一储料位进行支撑环堆叠或缓存，从而能够减小吸取装置吸取支撑环的等待时间。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种支撑环上料机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的支撑环上料机构，其特征在于：每一所述二轴运动机构包括直线移动机构和升降机构，所述升降机构沿所述直线移动机构的移动方向滑动设置于所述架体且与所述直线移动机构连接；两组所述送料组件在所述架体上对称设置。
3.如权利要求2所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述直线移动机构包括第一电机和与所述第一电机输出轴连接的同步带机构；在所述架体上、位于所述直线移动机构的一侧设置有滑轨，所述升降机构滑动设置于所述滑轨且与所述同步带机构连接。
4.如权利要求2或3所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述升降机构包括第二电机和由所述第二电机驱动的丝杆螺母组件，所述料架组件设置于所述丝杆螺母组件的螺母上。
5.如权利要求2所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述料架组件包括承载台、料盘和设置于所述料盘上的至少一组定位杆；所述承载台与所述升降机构连接，所述料盘可拆卸设置于所述承载台，每一组所述定位杆包括若干沿同一圆周方向阵列设置的定位杆。
6.如权利要求5所述的支撑环上料机构，其特征在于
7.如权利要求5所述的支撑环上料机构，其特征在于：在所述承载台上设置有定位件，所述料盘上对应设置有用于供所述定位件嵌插的定位孔。
8.如权利要求1至2任一所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述吸取机构包括吸取架和沿径向活动设置于所述吸取架上的若干吸嘴，各所述吸嘴的吸取直径可变径设置。
9.如权利要求8所述的支撑环上料机构，其特征在于：在所述吸取架上设置有气缸及滑轨组件，所述吸嘴滑动设置于所述滑轨组件且与气缸的驱动端连接。
10.如权利要求1至2任一所述的支撑环上料机构，其特征在于：在所述上料位设置有伸缩罩以及用于驱动所述伸缩罩移动以覆盖所述储料位的驱动组件。
...【技术特征摘要】
1.一种支撑环上料机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的支撑环上料机构，其特征在于：每一所述二轴运动机构包括直线移动机构和升降机构，所述升降机构沿所述直线移动机构的移动方向滑动设置于所述架体且与所述直线移动机构连接；两组所述送料组件在所述架体上对称设置。
3.如权利要求2所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述直线移动机构包括第一电机和与所述第一电机输出轴连接的同步带机构；在所述架体上、位于所述直线移动机构的一侧设置有滑轨，所述升降机构滑动设置于所述滑轨且与所述同步带机构连接。
4.如权利要求2或3所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述升降机构包括第二电机和由所述第二电机驱动的丝杆螺母组件，所述料架组件设置于所述丝杆螺母组件的螺母上。
5.如权利要求2所述的支撑环上料机构，其特征在于：所述料架组件包括承载台、料盘和设置于所述料盘上的至少一组定位杆；所述承载台与所述升降机构...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐寒风，张梓钧，陈志勇，
申请(专利权)人：广东思沃先进装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。