【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干涉仪及波前像差检测方法，具体涉及一种空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法。
技术介绍
1、在理想状态下，空气折射率仅与波长有关，与空间位置无关；故空气折射率恒为常数，通过定标即可得到，测量光路物理距离也可通过定标得到，此时被测波前像差可直接由干涉仪测得的光程差计算得到。
2、但是在大口径光学系统中，被测镜面口径较大，在口径范围内各部分空气状态不再均匀，且会随时间变化，导致空气折射率与空间位置相关，且由于波前检测光路长，空气折射率难以实现实时标定，传统激光干涉仪波前像差测试误差与波长的比值结果如图1所示，其波前像差误差的最大值接近四倍波长，表明传统激光干涉仪在大口径光学系统波前检测中的局限性。故大口径光学系统的波前检测是光学检测当前的亟待解决的重大问题。
3、当前解决这个问题的方法主要有采用各种方法扰乱测量光路中的空气场(如用风扇阵列加快空气循环)，使得空气更加均匀，然后采用多次测量平均的方法来获取被测波前像差，该方法耗时长，要在较好的环境控制下才可能实现，且测试精度低，无法准确反映被测...
【技术保护点】
1.一种空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
4.根据权利要求1或2或3所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
7.一种波前像差检测方法，采用权利要求1-6任一所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特...
【技术特征摘要】
1.一种空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
4.根据权利要求1或2或3所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的空气折射率自修正双频激光干涉仪，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈泽宇，薛勋，贺益凡，常宁，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。