【技术实现步骤摘要】
本申请涉及单晶炉，具体地涉及一种用于单晶炉的导流装置。
技术介绍
1、在单晶硅棒的制造领域内，当前普遍应用的生产工艺是对自发形核所得的晶粒进行加工，然后将由此得到的籽晶置入坩埚以进行同质外延生长，最终获得所需的单晶硅棒。在上述工艺过程中，籽晶与坩埚中的熔融态同质物熔接并达到稳定温度的状态后，需要进行拉细颈排除位错的操作。在细颈的生产过程中，由于分凝现象，杂质会集中在生长界面的单晶液中。一般而言，需要在籽晶与熔融态同质物的截面形成对流，以便将周围大气的氧化物以及单晶液中生长界面附近的杂质驱离固液生长界面。现有技术中，吹送惰性气体的导流筒口的直径与细颈直径差异较大，因此细颈生长处的熔融态同质物液面上方不会形成强对流气流。这样，杂质容易进入到细晶棒的固液生长界面，使细颈引放成活率下降，而且由此生长而成的细颈棒位错密度高、易发生断裂。
技术实现思路
1、为了克服上述现有技术所述的至少一种缺陷，本申请的目的是提供一种用于单晶炉的导流装置，所述单晶炉包括炉体、位于所述炉体内用于容纳熔融硅液的坩埚以及可...
【技术保护点】
1.一种用于单晶炉的导流装置，所述单晶炉包括炉体、位于所述炉体内用于容纳熔融硅液的坩埚以及可升降地设置在所述炉体内用于固定籽晶和提拉单晶硅棒的夹持部，其特征在于，所述导流装置包括导流筒以及导流罩，所述导流筒为顶端与底端均开放的圆筒体且位于所述坩埚内所述熔融硅液的上方；所述导流罩内部中空且上部具有进气口、下部具有出气口，并且安装到所述夹持部的底部以使所述籽晶位于所述导流罩的中空空间内，在细颈生长期间，所述导流罩位于所述导流筒内的底部处且与所述导流筒的内壁之间形成间隙。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的导流装置，其特征在于，所述导流罩包括凸缘、辐面和下部，...
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的导流装置，所述单晶炉包括炉体、位于所述炉体内用于容纳熔融硅液的坩埚以及可升降地设置在所述炉体内用于固定籽晶和提拉单晶硅棒的夹持部，其特征在于，所述导流装置包括导流筒以及导流罩，所述导流筒为顶端与底端均开放的圆筒体且位于所述坩埚内所述熔融硅液的上方；所述导流罩内部中空且上部具有进气口、下部具有出气口，并且安装到所述夹持部的底部以使所述籽晶位于所述导流罩的中空空间内，在细颈生长期间，所述导流罩位于所述导流筒内的底部处且与所述导流筒的内壁之间形成间隙。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的导流装置，其特征在于，所述导流罩包括凸缘、辐面和下部，所述辐面连接在所述凸缘和所述下部之间，其中所述辐面上开设有多个所述进气口，所述下部的底部设置有开口且直径大于所述籽晶的直径，所述下部的底部的开口与所述籽晶之间的间隙形成所述出气口。
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的导流装置，其特征在于，多个所述进气口沿所述辐面的周向均匀分布。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的导流装置，其特征在于，所述辐面具有从上到下逐渐变大的直径...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁永军，闫广宁，王怡然，张瑞，史搏予，
申请(专利权)人：包头晶澳太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。