【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于表面处理领域，具体涉及一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置及使用方法。
技术介绍
1、随着社会科学技术的发展，管筒状材料在生产生活中的需求越来越多，且对细长管筒件内壁薄膜的性能要求越来越高。管筒状材料在工业制造、医疗卫生、电子信息、航空航天以及国防等诸多关键领域发挥着重要的作用。例如，套筒轴承、石油管道、发动机气缸、心血管支架、炮管等等。不同的应用场景对管内涂层的性能要求不同。例如，在火炮和枪械身管内膛的涂层需要承受极高的温度、压力和磨损作用并且还用承受发射药产生的高温、高压、高速率的火药燃气作用。因此，对此种情况的管内壁涂层的耐高温、耐高压、耐磨损等性能提出了极大的要求。
2、目前，针对细长管内壁镀膜的方法有浸镀、电镀、物理气相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)等，其中主要是电镀法广泛应用，但是随着科学技术的发展，电镀法所形成的涂层与基体的结合力较差、致密度较低，已经很难满足日益增长的需求。以及采用电子束方式镀膜时会存在涂层均匀性较差的现象。
3、pvd技术具有环...
【技术保护点】
1.一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置，其特征在于它包括法兰盘(1)、第一连接接头(2)、第二连接接头(3)、第三连接接头(18)、第一输水管(4)、第一出水管(5)、第二输水管(6)、第二出水管(20)、第三输水管(21)、阴极管(7)、空心阴极靶材(8)、导磁堵头(9)、磁铁(10)、阳极管(11)、细长管筒件(12)、往复机构(13)、空心阴极电源(16)和偏压电源(17)；
2.根据权利要求1所述一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置，其特征在于它还包括第一绝缘支架(14)、第二绝缘支架(...
【技术特征摘要】
1.一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置，其特征在于它包括法兰盘(1)、第一连接接头(2)、第二连接接头(3)、第三连接接头(18)、第一输水管(4)、第一出水管(5)、第二输水管(6)、第二出水管(20)、第三输水管(21)、阴极管(7)、空心阴极靶材(8)、导磁堵头(9)、磁铁(10)、阳极管(11)、细长管筒件(12)、往复机构(13)、空心阴极电源(16)和偏压电源(17)；
2.根据权利要求1所述一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置，其特征在于它还包括第一绝缘支架(14)、第二绝缘支架(19)和底座(15)；所述第一绝缘支架(14)固定在底座(15)上，第一绝缘支架(14)支撑起第二输水管(6)和阳极管(11)；所述第二绝缘支架(19)固定在往复机构(13)上，第二绝缘支架(19)支撑起细长管筒件(12)；第二绝缘支架(19)受往复机构(13)牵引可带动细长管筒件(12)沿轴向往复运动。
3.根据权利要求1所述一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置，其特征在于所述偏压电源(17)的正输出端与阳极管(11)相连并接地，负输出端与细长管筒件(12)相连；空心阴极电源(16)的负输出端与空心阴极靶材(8)相连，正输出端连接阳极管(11)并接地。
4.根据权利要求1所述一种基于水冷与磁约束的空心阴极细长管筒件内壁快速均匀沉积薄膜的装置，其特征在于所述空心阴极靶材(8)的材质为cr、ti...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿慧远，张祥杰，田修波，巩春志，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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