【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及芯片die检测领域，具体涉及一种die图像灰度矫正方法、计算机设备及计算机存储介质。
技术介绍
1、晶圆中die与die之间存在色差，尤其是当die尺寸较大时，例如die尺寸为43mm*37mm，则12寸晶圆wafer的一行中die的数量只有3-10个，此时die与die之间的跨度非常大，容易由于光的不均匀性导致die的成像产生色差，色差会干扰后期基于图像灰度值对die进行缺陷检测的过程，影响die的检测结果。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种die图像灰度矫正方法、计算机设备及计算机存储介质，用于矫正图像的灰度值以消除色差对die图像灰度值产生的影响。
2、本申请实施例第一方面提供了一种die图像灰度矫正方法，所述方法包括：
3、获取待矫正的目标die的图像，以及获取参考die的图像；所述目标die的图像和所述参考die的图像均包括m×n像素矩阵，m、n均为大于1的正整数；
4、分别根据所述目标die与所述参考die之间每一对相...
【技术保护点】
1.一种die图像灰度矫正方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别根据所述目标die与所述参考die之间每一对相同行的像素的灰度值确定第一缩放系数，获得m个所述第一缩放系数，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别根据所述目标die与所述参考die之间每一对相同列的像素的灰度值确定第二缩放系数，获得n个所述第二缩放系数，包括：
4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据m个所述第一缩放系数和n个所述第二缩放系数确定所述目标die的缩放比例，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种die图像灰度矫正方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别根据所述目标die与所述参考die之间每一对相同行的像素的灰度值确定第一缩放系数，获得m个所述第一缩放系数，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别根据所述目标die与所述参考die之间每一对相同列的像素的灰度值确定第二缩放系数，获得n个所述第二缩放系数，包括：
4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据m个所述第一缩放系数和n个所述第二缩放系数确定所述目标die的缩放比例，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述缩放比例对所述目标die的图像的灰度值进行矫正，得到所述目标die的灰度矫正图像，包括：
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，肖遥，张鹏斌，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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