激光振荡器制造技术

本发明专利技术提供能够出射品质高的激光的激光振荡器。激光振荡器具备：外电极；内电极，其在与外电极之间形成放电室；第1谐振器镜，其设置于外电极和内电极的一端侧；第2谐振器镜，其设置于外电极和内电极的另一端侧，并且在与第1谐振器镜之间反射激光；以及支撑部件，其支撑内电极。支撑部件在与放电室对应的位置具有供激光通过的开口部，开口部的至少一部分成为开口宽度形成得比从前述放电室发射的激光的光束直径更小的空间滤波器部分。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光振荡器。

技术介绍

1、近年来，作为激光振荡器，研究出激光的强度分布接近高斯分布且以射出适于加工的均匀的光束的方式构成的圆筒板型气体激光装置(参照专利文献1)。

2、【在先技术文献】

3、【专利文献】

4、【专利文献1】日本特开第2001-332785号公报

技术实现思路

1、【专利技术要解决的课题】

2、然而，即使是这样的激光振荡器，也有时在所输出的激光的脉冲波形中产生噪声，存在使激光的品质受到影响这一问题。在使用产生了这样的噪声的激光而例如对印刷基板进行钻孔的情况下，孔的加工品质会下降。

3、于是，本专利技术提供能够出射品质高的激光的激光振荡器。

4、【用于解决课题的方案】

5、本专利技术的一个方式是一种激光振荡器，其特征在于，具备：圆筒形的外电极；内电极，其与前述外电极以同心圆状配置，并且在与前述外电极之间形成填充有激光介质的放电室；第1谐振器镜，其设置于前述外电极和内电极的一端侧，并且反射从前述放电室本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光振荡器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的激光振荡器，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的激光振荡器，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种激光振荡器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的激光振荡器，其特征在于，

...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本和也，大谷宣嘉，
申请(专利权)人：维亚机械株式会社，
类型：发明
国别省市：