一种供液系统技术方案

本技术属于晶圆清洗技术领域，具体涉及一种供液系统，本装置包括：加热槽，所述加热槽内设置有主加热器和温度传感器，所述加热槽的顶部设置有加热进水口，进气口和排气口，所述加热槽的加热槽的底部设置有加热出水口；保温槽，所述保温槽内设置有副加热器和温度传感器，所述保温槽的顶部设置有保温进水口，所述保温槽的侧壁设置有保温出水口，所述保温进水口与所述加热进水口通过管路连通，并且该管路上设置有气动阀，以及，所述进气口适于对所述加热槽进行加压；主加热器完成加热槽内的介质的加热，副加热器完成保温槽内的介质的保温；通过进气口能够对加热槽进行加压，提高介质的温度上限，相较于常压加热能够使介质吸收更多能量。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆清洗，具体涉及一种供液系统。

技术介绍

1、晶圆在生产过程中需要进行清洗，其中清洗介质有不同的温度要求，现有的清洗方法是通过设置一个清洗槽，在清洗槽内设置加热器，通过向清洗槽内加入清洗介质，并且直接在清洗槽内对清洗介质进行加热；

2、然而在清洗槽内直接加入介质，会降低清洗槽原有的介质的温度，影响晶圆的清洗效率。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种降低清洗槽内的清洗介质的温度波动的工业系统。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种供液系统，包括：加热槽，所述加热槽内设置有主加热器和温度传感器，所述加热槽的顶部设置有加热进水口，进气口和排气口，所述加热槽的底部设置有加热出水口；保温槽，所述保温槽内设置有副加热器和温度传感器，所述保温槽的顶部设置有保温进水口，所述保温槽的侧壁设置有保温出水口，所述保温进水口与所述加热进水口通过管路连通，并且该管路上设置有气动阀，以及，所述进气口适于对所述加热槽进行加压。

3、作为优选，所述排气口通过管路与外部连通，该管路上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种供液系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，

3.如权利要求2所述的供液系统，其特征在于，

4.如权利要求3所述的供液系统，其特征在于，

5.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，

6.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，

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11.如权利要求10...

【技术特征摘要】

1.一种供液系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，

3.如权利要求2所述的供液系统，其特征在于，

4.如权利要求3所述的供液系统，其特征在于，

5.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，

6.如权利要求1所述的供液系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，鞠璐平，成旭，申斌，谈丽文，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：