提高窗口片AR膜硬度的镀膜方法技术

一种提高窗口片AR膜硬度的镀膜方法包括步骤：S1，窗口片衬底放入工装夹具，放好窗口片衬底的工装夹具挂入镀膜机的腔体内，窗口片衬底是指在窗口片工艺中完成AR膜图形化工艺之前流程的衬底，设定腔体的温度；S2，离子源清洗；S3，窗口片衬底的第一面沉积AR膜膜系，AR膜膜系在窗口片衬底的第一面上的最外层为ZnS膜层；S4，在AR膜膜系的ZnS膜层上依次沉积Ge膜层和Si膜层；S5，在窗口片衬底的第一面沉积AR膜膜系、Ge膜层和Si膜层完成后，腔体降温冷却，将工装夹具连同第一面沉积AR膜膜系、Ge膜层和Si膜层完成的窗口片衬底取出；S6，重复步骤S1至步骤S5，在窗口片衬底的第二面沉积相同的AR膜膜系、Ge膜层和Si膜层。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及探测器技术，更具体地涉及一种提高窗口片ar膜硬度的镀膜方法。

技术介绍

1、在现有的窗口片ar(anti-reflection)膜膜系设计中，膜系最外层材料通常使用zns，但因为zns自身硬度不够，探测器制作过程经历衬底沉积、划片成粒、封窗、成像检测等工序，在这些工序执行过程中的人为因素(指甲、器械刮伤等)引入，很容易划伤ar膜(即zns膜层)表面，这种划伤的zns膜层表面，会增加探测器性能受影响甚至受损的风险。

技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种提高窗口片ar膜硬度的镀膜方法，其能够在满足透过率的情况下提高窗口片的膜系的硬度。

2、由此，一种提高窗口片ar膜硬度的镀膜方法包括步骤：s1，窗口片衬底放入工装夹具，放好窗口片衬底的工装夹具挂入镀膜机的腔体内，窗口片衬底是指在窗口片工艺中完成ar膜图形化工艺之前流程的衬底，设定腔体的温度；s2，离子源清洗；s3，窗口片衬底的第一面沉积ar膜膜系，ar膜膜系在窗口片衬底的第一面上的最外层为zns膜层；s4，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

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【技术特征摘要】

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【专利技术属性】
技术研发人员：李萌萌，程朋，王锦，黄添萍，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：

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