一种HETC散热装置制造方法及图纸

本技术公开了一种HETC散热装置，包括热板烤箱，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；所述的冷水机装置包括冷水箱，所述的冷水箱与热板烤箱之间设有隔热装置，所述的冷水箱设有通风口、散热口，所述的散热口连接通风装置；所述的隔热装置包括隔热支架、隔热垫。本技术阻止热板散热产生的热量直接影响到冷水机装置(HETC)，从而保证冷水机装置(HETC)能够正常运行。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及匀胶显影机冷板装置，具体为一种hetc散热装置。

技术介绍

1、晶圆在匀胶显影机上进行烘烤作业完，下一步就需要进入冷板进行冷却，降到常温后传出；现有匀胶显影机冷板降温是采用冷却水循环的方式，冷却水由冷水机装置(即hetc)提供，且需保持恒温；目前由于设备安装空间的局限，hetc安装在热板正上方，热板散热全部跑到hetc内，导致hetc控温失效，设备报警，产品有报废的风险。

技术实现思路

1、本技术的目的提供一种能够在现有设备基础上，阻止热板散热产生的热量直接影响到冷水机装置(hetc)，从而保证冷水机装置(hetc)能够正常运行的散热装置。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种hetc散热装置，包括热板烤箱，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；所述的冷水机装置包括冷水箱，所述的冷水箱与热板烤箱之间设有隔热装置，所述的冷水箱设有通风口、散热口，所述的散热口连接通风装置；所述的隔热装置包括隔热支架、隔热垫。

4、分离hetc和热板，在中间加装保温棉，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种HETC散热装置，包括热板烤箱，其特征在于，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；

2.根据权利要求1所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的通风装置包括通风管、排气扇，所述的排气扇设于通风管内。

3.根据权利要求2所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的通风管呈L形，所述的通风管管口设有防尘罩。

4.根据权利要求1所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的隔热支架包括分别设于热板烤箱顶部四角的四根支撑垫块，所述的支撑垫块为隔热材料制作。

5.根据权利要求1所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的隔热垫为橡塑棉垫。...

【技术特征摘要】

1.一种hetc散热装置，包括热板烤箱，其特征在于，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；

2.根据权利要求1所述的一种hetc散热装置，其特征在于：所述的通风装置包括通风管、排气扇，所述的排气扇设于通风管内。

3.根据权利要求2所述的一种hetc散热装置，其特征在于：所述的通...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜吉祥，庞忠诚，
申请(专利权)人：杭州邦齐州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：