一种HETC散热装置制造方法及图纸

本技术公开了一种HETC散热装置，包括热板烤箱，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；所述的冷水机装置包括冷水箱，所述的冷水箱与热板烤箱之间设有隔热装置，所述的冷水箱设有通风口、散热口，所述的散热口连接通风装置；所述的隔热装置包括隔热支架、隔热垫。本技术阻止热板散热产生的热量直接影响到冷水机装置(HETC)，从而保证冷水机装置(HETC)能够正常运行。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及匀胶显影机冷板装置，具体为一种hetc散热装置。

技术介绍

1、晶圆在匀胶显影机上进行烘烤作业完，下一步就需要进入冷板进行冷却，降到常温后传出；现有匀胶显影机冷板降温是采用冷却水循环的方式，冷却水由冷水机装置(即hetc)提供，且需保持恒温；目前由于设备安装空间的局限，hetc安装在热板正上方，热板散热全部跑到hetc内，导致hetc控温失效，设备报警，产品有报废的风险。

技术实现思路

1、本技术的目的提供一种能够在现有设备基础上，阻止热板散热产生的热量直接影响到冷水机装置(hetc)，从而保证冷水机装置(hetc)能够正常运行的散热装置。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种hetc散热装置，包括热板烤箱，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；所述的冷水机装置包括冷水箱，所述的冷水箱与热板烤箱之间设有隔热装置，所述的冷水箱设有通风口、散热口，所述的散热口连接通风装置；所述的隔热装置包括隔热支架、隔热垫。

4、分离hetc和热板，在中间加装保温棉，可以有效改善散热影响；增加排风管，带走hetc本身产生的热量，可减少hetc本身对控温的影响；本方案采用隔热支架将冷水箱与热板烤箱隔离开，使得二者之间产生隔热空间，为了加强隔热效果，采用隔热垫置于隔热空间内，这样既防止了冷水箱与热板烤箱直接接触产生热传导，也防止了热板烤箱的热辐射及间接空气加热对冷水箱产生热传导；同时，由于热板烤箱的热量散发到周围环境也会影响到冷水箱，因此给冷水箱加装通风装置，使得空气流动带走热量，使得热量不能大量积聚，保证了冷水机装置能够给冷板提供符合要求的冷水。

5、作为本技术的优选方案，所述的通风装置包括通风管、排气扇，所述的排气扇设于通风管内。本方案的排气扇工作后，可使得空气从冷水箱内排出，周围空气则可通过通风口补充进入冷水箱，空气流动过程中，即可带走冷水箱内多余的热量。

6、作为本技术的优选方案，所述的通风管呈l形，所述的通风管管口设有防尘罩。本方案的通风管可以接入车间总排风管中，也可以单独设立，将通风管通向室外，通风管管口设置防尘罩防止灰尘进入。

7、作为本技术的优选方案，所述的隔热支架包括分别设于热板烤箱顶部四角的四根支撑垫块，所述的支撑垫块为隔热材料制作。本方案的隔热支架与热板烤箱接触面积小，热传导量少，同时采用隔热材料如橡胶、塑料等均能起到支撑和隔热作用。

8、作为本技术的优选方案，所述的隔热垫为橡塑棉垫。本方案的隔热垫为橡塑棉垫，主要材料为优质橡胶和聚氯乙烯。

9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：阻止热板散热产生的热量直接影响到冷水机装置(hetc)，从而保证冷水机装置(hetc)能够正常运行。

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【技术保护点】

1.一种HETC散热装置，包括热板烤箱，其特征在于，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；

2.根据权利要求1所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的通风装置包括通风管、排气扇，所述的排气扇设于通风管内。

3.根据权利要求2所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的通风管呈L形，所述的通风管管口设有防尘罩。

4.根据权利要求1所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的隔热支架包括分别设于热板烤箱顶部四角的四根支撑垫块，所述的支撑垫块为隔热材料制作。

5.根据权利要求1所述的一种HETC散热装置，其特征在于：所述的隔热垫为橡塑棉垫。

【技术特征摘要】

1.一种hetc散热装置，包括热板烤箱，其特征在于，所述的热板烤箱之上设有冷水机装置；

2.根据权利要求1所述的一种hetc散热装置，其特征在于：所述的通风装置包括通风管、排气扇，所述的排气扇设于通风管内。

3.根据权利要求2所述的一种hetc散热装置，其特征在于：所述的通...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜吉祥，庞忠诚，
申请(专利权)人：杭州邦齐州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：