【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造，特别涉及一种氮封系统。
技术介绍
1、氮封装置通常与储液装置连接，通过维持液体表面的氮气氛围将储液装置内的液体与空气隔绝。例如，在芯片制造过程中，例如，抛光(polish)以及组装(make up)工艺中，会将超纯水箱与氮封装置连接，以将超纯水与空气隔绝，减少水中的含氧量，避免水中滋生细菌以及水内总有机碳(total organic carbon，toc)超标等问题。
2、然而，对于一些氮封装置，在使用过程中，可能会存空气进入氮封装置以及氮气外溢的现象，空气进入氮封装置会影响对储液装置内液体的氮封效果，而氮气外溢会使得氮封装置所处环境氧气浓度降低，严重时，会危及处于该环境内的操作人员的生命健康。
3、因此，有必要开发一种氮封系统，避免空气进入氮封装置以及降低氮气外溢对操作人员的健康影响。
技术实现思路
1、本申请的目的是开发一种氮封系统，避免空气进入氮封装置的概率，同时降低氮气外溢对操作人员的健康影响。
2、本申请的目的是提供一种氮封系统，包括：储液装置，用于储存液体，所述储液装置的空腔被氮气封闭，在所述储液装置的液面超出设定值时，氮气从所述储液装置排出；氮封罐，所述氮封罐包括：罐体；氮气管，所述氮气管从所述罐体的顶部延伸至所述罐体底部，用于接收从储液装置排出的氮气；位于所述罐体底端的液封区，所述液封区的液面被配置为高于所述氮气管的底端；以及进液管路，与所述罐体连接，用于向所述氮封罐内通入液体，且所述进液管路设置有进液阀；液
3、在一些实施例中，所述氮封系统还包括氧气浓度监测装置，所述氧气浓度监测装置设置在所述氮封罐所处的工作间，用于监测所述工作间的氧气浓度，且所述氧气浓度监测装置与所述控制器电连接，并在所述氧气浓度低于设定浓度时发送氧气浓度异常型号至所述控制器。
4、在一些实施例中，所述氮封系统还包括排风装置，设置在所述工作间，用于排出所述工作间内的气体。
5、在一些实施例中，所述控制器还与所述排风装置电连接，控制所述排风装置的开启和关闭。
6、在一些实施例中，所述氮封系统还包括警报装置，所述警报装置与所述控制器电连接，用于发出警报。
7、在一些实施例中，所述警报装置的数目为多个。
8、在一些实施例中，所述氮封系统还包括回收装置，所述回收装置被配置为与设置在所述氮封罐的侧壁的排气口连接，用于回收所述排气口排出的气体。
9、在一些实施例中，所述回收装置包括过渡罐和气体处理装置，所述过渡罐与所述排气口通过第一连接管联通，所述过渡罐与所述气体处理装置通过第二连接管连通，所述第一连接管在所述过渡罐内的长度大于所述第二连接管在所述过渡罐内的长度；所述气体处理装置用于处理所述排气口排出的气体。
10、在一些实施例中，所述氮封系统还包括氮气源，所述氮气通过气体传输管路与所述储液装置连通，用于向所述储液装置内传输氮气。
11、在一些实施例中，所述氮封系统还包括压力监测装置，所述压力监测装置用于监测所述储液装置内的气压，且所述压力监测装置与所述控制器电连接，并在所述气压小于预设压力值时发出低压信号。
12、本申请提供的氮封系统的有益效果包括但不限于以下：
13、本申请提供的氮封系统通过设置液面监测器，监测氮封罐液封区的液面高度，在液面高度低于预设液面高度时持续向控制器发出液面高度异常信号，控制器在收到液面高度异常信号后，控制进液阀打开，及时向所述液封区补充液体，避免空气进入氮气管，对储液装置的密封效果造成影响。
14、此外，本申请提供的氮封系统还设置有氧气浓度监测装置、警报装置以及排风装置。当氮封罐所处的工作间由于氮气外溢导致氧气浓度过低时，氧气浓度监测装置会及时向控制器发出氧气浓度异常信号，控制器在收到氧气浓度异常信号可以控制警报装置发出警报并开启排风装置，以保证工作间内操作人员的安全。
15、另外，本申请还提供有与氮封罐连接的回收装置，以回收氮封罐排出的氮气，避免氮气外溢至工作间。
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1.一种氮封系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，还包括氧气浓度监测装置，所述氧气浓度监测装置设置在所述氮封罐所处的工作间，用于监测所述工作间的氧气浓度，且所述氧气浓度监测装置与所述控制器电连接，并在所述氧气浓度低于设定浓度时发送氧气浓度异常型号至所述控制器。
3.根据权利要求2所述的氮封系统，其特征在于，还包括排风装置，设置在所述工作间，用于排出所述工作间内的气体。
4.根据权利要求3所述的氮封系统，其特征在于，所述控制器还与所述排风装置电连接，控制所述排风装置的开启和关闭。
5.根据权利要求2所述的氮封系统，其特征在于，还包括警报装置，所述警报装置与所述控制器电连接，用于发出警报。
6.根据权利要求5所述的氮封系统，其特征在于，所述警报装置的数目为多个。
7.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，还包括回收装置，所述回收装置被配置为与设置在所述氮封罐的侧壁的排气口连接，用于回收所述排气口排出的气体。
8.根据权利要求7所述的氮封系统，其特征在于，所述回收装
9.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，还包括氮气源，所述氮气通过气体传输管路与所述储液装置连通，用于向所述储液装置内传输氮气。
10.根据权利要求9所述的氮封系统，其特征在于，还包括压力监测装置，所述压力监测装置用于监测所述储液装置内的气压，且所述压力监测装置与所述控制器电连接，并在所述气压小于预设压力值时发出低压信号。
...【技术特征摘要】
1.一种氮封系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氮封系统，其特征在于，还包括氧气浓度监测装置，所述氧气浓度监测装置设置在所述氮封罐所处的工作间，用于监测所述工作间的氧气浓度，且所述氧气浓度监测装置与所述控制器电连接，并在所述氧气浓度低于设定浓度时发送氧气浓度异常型号至所述控制器。
3.根据权利要求2所述的氮封系统，其特征在于，还包括排风装置，设置在所述工作间，用于排出所述工作间内的气体。
4.根据权利要求3所述的氮封系统，其特征在于，所述控制器还与所述排风装置电连接，控制所述排风装置的开启和关闭。
5.根据权利要求2所述的氮封系统，其特征在于，还包括警报装置，所述警报装置与所述控制器电连接，用于发出警报。
6.根据权利要求5所述的氮封系统，其特征在于，所述警报装置的数目为多个。
7.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周阳，
申请(专利权)人：中芯北方集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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