【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于干涉测量与图像处理，具体涉及一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法及系统。
技术介绍
1、高精度光学组件是航空航天探测、高端光刻机等高端光电装备的关键核心部件，其装调精度直接决定成像分辨率、清晰度等指标。一般光学组件的镜片数量与成像指标正相关，而装调难度与镜片数量也是正相关。因此，高端光电装备的镜片数量多，装调难度大。
2、目前高精度光学组件装配主要通过人工、计算机辅助装调对镜片位置、倾斜和偏移逐步进行测量-调整迭代优化，从而保证光学组件的装调要求。但该方法精度差、效率低、产品性能不稳定，已无法满足未来各领域对光学组件超高精度、短周期、批量化的加工要求。
3、现有同轴光学组件的装调装置主要分为两大类，基于自定心仪（周运义,林丽娜,彭章贤.精密反射式定心仪设备设计[j].光学与光电技术,2020,18(05):68-74.）的装调和基于干涉仪（陈太喜,王金鑫,黄贺,等.中间像面非理想成像的近红外折反射系统光学装调方法[j].红外与激光工程,2024,53(05):216-225.）的装调。
...【技术保护点】
1.一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，所述同轴光学组件包括N个均为光学旋转对称结构的镜片，N为≥2的正整数，N个镜片各设于一个五维调整架上，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，其特征在于，在放置同轴光学组件和计算全息片前，先由标准干涉仪和标准透射平面镜确定标准反射平面镜的位姿，然后由具有标准透射平面镜的标准干涉仪和标准平面反射镜确定计算全息片的位姿，最后再对同轴光学组件进行位姿测量及装调。
3.根据权利要求1所述同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，其特征在于，所述五维调...
【技术特征摘要】
1.一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，所述同轴光学组件包括n个均为光学旋转对称结构的镜片，n为≥2的正整数，n个镜片各设于一个五维调整架上，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，其特征在于，在放置同轴光学组件和计算全息片前，先由标准干涉仪和标准透射平面镜确定标准反射平面镜的位姿，然后由具有标准透射平面镜的标准干涉仪和标准平面反射镜确定计算全息片的位姿，最后再对同轴光学组件进行位姿测量及装调。
3.根据权利要求1所述同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，其特征在于，所述五维调整架的五个调整维度包括x、y、z三个相互垂直的方向，以及θx、θy两个角度的调整，其中z方向为所述同轴光学组件的轴向，θx、θy两个角度的调整分别为绕x方向和绕y方向。
4.根据权利要求1所述同轴光学组件光学轴位姿测量及装调的方法，其特征在于，所述计算全息片划分的区域包括成同心圆布置的n个环形区域，n个环形区域分别对应所述同轴光学组件的n个镜片的空间位姿测量；
5.根据权利要求1所述同轴光学组件光学轴位姿测量及...
【专利技术属性】
技术研发人员：高金铭，武立哲，王向朝，卞殷旭，匡翠方，刘旭，
申请(专利权)人：浙江大学杭州国际科创中心，
类型：发明
国别省市：
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