【技术实现步骤摘要】
本公开实施例涉及集成电路制造，尤其涉及一种用于光罩的存储装置及管理系统。
技术介绍
1、光罩是集成电路生产中重要的工具，因此需要对光罩进行管理。
2、光罩的存储和运输是光罩管理中的一个重要环节，然而，受现有光罩存储装置的限制，大量工作通常需要由人工执行，不仅费时费力，还容易出错，从而影响集成电路的生产效率。
3、因此，如何提供一种用于光罩的存储装置，以为光罩的自动化管理提供基础，成为了本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供一种用于光罩的存储装置及管理系统，能够实现光罩的自动化管理，从而可以降低光罩管理出错的概率，提高集成电路的生产效率。
2、首先，本公开实施例提供一种用于光罩的存储装置，包括：
3、存储壳体；
4、视窗，设置于所述存储壳体上，且正对于耦接于所述存储壳体的第一标识，配置为透过预设波长范围内的光，且对所述预设波长范围内的光的透过率大于第一阈值；其中，所述第一标识配置为承载光罩标
【技术保护点】
1.一种用于光罩的存储装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述预设波长范围为可见光波段。
3.根据权利要求2所述的存储装置，其特征在于，所述预设波长范围为红光波段。
4.根据权利要求3所述的存储装置，其特征在于，所述视窗设置有相对于所述第一标识可移动的盖板，所述第一标识设置于所述视窗的内壁表面。
5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述视窗包括透明塑料。
6.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述视窗包括高透玻璃。
7.根据权利要求1所述的存储...
【技术特征摘要】
1.一种用于光罩的存储装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述预设波长范围为可见光波段。
3.根据权利要求2所述的存储装置，其特征在于，所述预设波长范围为红光波段。
4.根据权利要求3所述的存储装置，其特征在于，所述视窗设置有相对于所述第一标识可移动的盖板，所述第一标识设置于所述视窗的内壁表面。
5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述视窗包括透明塑料。
6.根据权利要求4所述的存...
【专利技术属性】
技术研发人员：张统，
申请(专利权)人：浙江创芯集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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