玫瑰金涂层制备方法技术

本发明专利技术玫瑰金涂层制备方法，包括：设置八角炉，八角炉内加热至400‑500℃，同时抽真空，真空度为0.01‑0.03Pa；通入氮气，至真空度为0.02‑0.04Pa；Ti靶单独开启，进行打底，时间8‑10min，弧电流80A，偏压100V；TiCn组合靶结构开启，时间1‑2min，弧电流90‑100A，偏压110‑130V；TiAL组合靶结构开启，时间3‑5min，弧电流80‑85A，偏压130‑150V；循环10‑12次；再次Ti靶单独开启，二次打底，时间8‑9min，弧电流120A，偏压110V；TiCN组合靶结构再次开启，时间30min，弧电流70‑80A，偏压90‑95V，形成表面玫瑰金色层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及表面涂层技术及使用设备，具体的，其展示一种玫瑰金涂层制备方法。

技术介绍

1、玫瑰金是非常受欢迎的表面色彩，用做表面装饰时大受欢迎，但目前的加工工艺制备出的玫瑰金的耐蚀性一直不太稳定，受素材的波动比较大，这就导致玫瑰金涂层难以广泛应用。

2、因此，有必要提供一种玫瑰金涂层制备方法来解决上述问题。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种玫瑰金涂层制备方法。

2、本专利技术通过如下技术方案实现上述目的：

3、一种玫瑰金涂层制备方法，步骤包括：

4、1)设置真空制备炉，真空制备炉为八角炉，八角炉的四个或六个内壁上设置有快速插入式靶材装载板体，其余为弧电流产生模块；插入式靶材装载板体上设置有若干组靶材插入座，至少一个靶材插入座用于插入ti靶，至少一个靶材插入座用于插入cn靶，至少一个靶材插入座用于插入al靶，涂层制备时，ti靶、cn靶材同时开启，形成ticn组合靶结构，ti靶、al靶同时开启，形成tial组合靶结构；

5、2)八角炉内加热本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：步骤包括：

2.根据权利要求1所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为通过金手指连接的快速插拔座。

3.根据权利要求2所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为一组或者两组。

4.根据权利要求3所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为一组时，至少两个插入座体用于插入Ti靶，一个插入座体用于插入CN靶，一个插入座体用于插入AL靶。

5.根据权利要求3所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为两组时，其中一组靶材插入座用于插入Ti靶，另一组靶材插入座用于...

【技术特征摘要】

1.一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：步骤包括：

2.根据权利要求1所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为通过金手指连接的快速插拔座。

3.根据权利要求2所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为一组或者两组。

4.根据权利要求3所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座为一组时，至少两个插入座体用于插入ti靶，一个插入座体用于插入cn靶，一个插入座体用于插入al靶。

5.根据权利要求3所述的一种玫瑰金涂层制备方法，其特征在于：靶材插入座...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建坡，
申请(专利权)人：苏州超星新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：