【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式涉及光电转换元件的检查装置、光电转换元件的制造装置、光电转换元件的制造方法、光电转换元件。本申请基于2022年7月28日在日本申请的日本特愿2022-120680号主张优先权，在此引用其内容。
技术介绍
1、作为多层结型的光电转换元件，已知有串联型太阳能电池。串联型太阳能电池如以下那样构成。即，串联型太阳能电池在半导体基板的受光面侧具备包含第二光活性层的第二光电转换元件，并且在半导体基板的受光面侧的相反侧具备使该半导体基板作为第一光活性层发挥功能的第一光电转换元件。作为第二光活性层，已知具有由钙钛矿型晶体结构的材料构成的光活性层(以下，称为钙钛矿层)的光活性层。使用钙钛矿型材料的光电转换元件具有形成层时能够应用廉价的涂布法的优点。
2、在制造串联型太阳能电池的情况下，例如在半导体基板的受光面侧的相反侧形成使该半导体基板作为第一光活性层发挥功能的第一光电转换元件而作为中间体。接着，在中间体的受光面侧形成包含第二光活性层的第二光电转换元件而完成。
3、作为第一光活性层而列举的晶体硅是从硅晶片切出等...
【技术保护点】
1.一种光电转换元件的检查装置，具备：
2.一种光电转换元件的制造装置，具备：
3.根据权利要求2所述的光电转换元件的制造装置，
4.根据权利要求3所述的光电转换元件的制造装置，
5.根据权利要求3所述的光电转换元件的制造装置，
6.根据权利要求2所述的光电转换元件的制造装置，
7.一种光电转换元件的制造装置，具备：
8.一种光电转换元件的制造方法，
9.一种光电转换元件，通过权利要求8所述的制造方法制造，具备：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光电转换元件的检查装置，具备：
2.一种光电转换元件的制造装置，具备：
3.根据权利要求2所述的光电转换元件的制造装置，
4.根据权利要求3所述的光电转换元件的制造装置，
5.根据权利要求3所述的光电...
【专利技术属性】
技术研发人员：五反田武志，大西春树，山下胜也，齐田穣，户张智博，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：
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