【技术实现步骤摘要】
本技术涉及研磨加工，特别涉及一种研磨振荡器和研磨设备。
技术介绍
1、超精研磨是一种高精度的加工技术，广泛应用于各种工业领域，包括精密机械、光学仪器、半导体制造等。通过研磨头作用于待加工工件的反复运动，实现对工件表面的极高精度研磨和抛光，以达到满足特定工艺要求的光洁度和精度。研磨设备中通常会配备震荡器。震荡器在研磨设备中起着关键作用，能够产生一定频率和振幅的振动，从而带动研磨头作用于工件。实践中，尤其在加工复杂、精度要求高的工件时，往往会根据待加工的工艺，在加工过程中对振荡器进行一定角度的调整，因此，震荡器中往往具有能够实现角度调整的机构。现有技术中，振荡器角度的调整通常是通过机械结构、液压系统或电动调节机构来实现的，核心要求是确保调整过程平稳、准确；调整后，现有技术中采取最广泛的固定方式是通过蜗轮蜗杆结构实现锁止，防止角度发生变化，并且配合定期检查和校准振荡器的角度，确保其保持较为精确的研磨效果。但是随着研磨行业对工件精度要求的提升，传统的振荡器的角度固定方式有一定的缺陷：随着振荡器在加工在不断的震荡，蜗轮蜗杆结构并不能完全实现锁止，...
【技术保护点】
1.一种研磨振荡器，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的研磨振荡器，其特征在于，所述角度调整机构包含啮合自锁部，所述啮合自锁部限制所述输出端的位移。
3.如权利要求2所述的研磨振荡器，其特征在于，所述角度调整机构包含蜗轮、蜗杆，所述蜗杆端部设有第二驱动器，所述啮合自锁部包含设于所述蜗杆的螺纹和设于所述蜗轮的轮齿。
4.如权利要求2所述的研磨振荡器，其特征在于，所述紧固机构呈环形并套设于所述输出端。
5.如权利要求4所述的研磨振荡器，其特征在于，所述紧固机构对所述基座和所述输出端增加5～10bar。
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【技术特征摘要】
1.一种研磨振荡器，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的研磨振荡器，其特征在于，所述角度调整机构包含啮合自锁部，所述啮合自锁部限制所述输出端的位移。
3.如权利要求2所述的研磨振荡器，其特征在于，所述角度调整机构包含蜗轮、蜗杆，所述蜗杆端部设有第二驱动器，所述啮合自锁部包含设于所述蜗杆的螺纹和设于所述蜗轮的轮齿。
4.如权利要求2所述的研磨振荡器，其特征在于，所述紧固机构呈环形并套设于所述输出端。
5.如权利要求4所述的研磨振荡器，其特征在于，所述紧固机构对所述基座和所述输出端增加5～10bar。
...【专利技术属性】
技术研发人员：谢晶星，
申请(专利权)人：驭准精密机械上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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