一种探卡固定微调装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及探卡技术领域，尤其为一种探卡固定微调装置，包括：工作台，所述工作台的内腔设置有微调结构，所述微调结构包含有与工作台内腔底部中心处固定连接的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有传动板，所述电动伸缩杆输出端的表面滑动连接有固定板，所述固定板的两侧均与工作台固定连接，所述固定板的两侧均转动连接有两个斜杆一，所述斜杆一的一侧转动连接有斜杆二。本发明专利技术具备自动固定和多方向调整的优点，通过设置的固定结构，能够实现对探卡的自动固定，能够迅速而准确地将探卡固定在测试设备上，无需人工手动操作，这一过程无需依赖传统的锁紧螺丝方式，从而有效避免了因手动操作或螺丝紧固不当可能带来的弊端。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及探卡，具体为一种探卡固定微调装置。

技术介绍

1、探卡主要用于连接芯片管脚和标准仪器，是晶圆级芯片自动测试的核心部分，在半导体测试中，探卡能够实现对半导体器件的快速、准确和可靠的测试，帮助生产出更高品质的半导体产品，同时，探卡还可以实现自动化测试，从而大大提高测试效率和准确性。

2、在探卡的加工和测试的过程中，通常需要设置固定微调装置确保探卡能够稳定地固定在加工设备上，同时允许对探卡的位置、角度或高度进行细微的调整，以满足加工精度和测试准确性的要求。

3、而现有的应用于探卡固定微调装置大多不具备多方向调整的功能，只能在一个或两个方向上实现有限的调整，而无法在三维空间内自由移动探卡以达到最佳的测试位置，当不能在x轴(水平方向)上进行调整，会使得探卡无法准确地对准测试点，导致测试结果的偏差；同样，无法在y轴(垂直于x轴的另一个水平方向)上进行调整，那么探卡与测试设备之间的对齐度也会受到影响；而z轴(垂直方向)的调整缺失，则导致探卡与芯片表面的接触压力不均匀，进而影响测试的准确性和可靠性，且对探卡固定时大多采用锁紧螺丝的方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探卡固定微调装置，包括：工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的内腔设置有微调结构(2)；

2.根据权利要求1所述的一种探卡固定微调装置，其特征在于：所述升降板(28)底部的两侧均固定连接有导向杆(223)，所述导向杆(223)的底端贯穿至传动板(22)的底部，所述传动板(22)和固定板(23)的表面均开设有与导向杆(223)相适配的滑孔。

3.根据权利要求1所述的一种探卡固定微调装置，其特征在于：所述螺纹块(211)的两侧均固定连接有定位块(224)，所述升降板(28)内腔的两侧均开设有与定位块(224)相适配的定位槽(225)。

4.根...

【技术特征摘要】

1.一种探卡固定微调装置，包括：工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的内腔设置有微调结构(2)；

2.根据权利要求1所述的一种探卡固定微调装置，其特征在于：所述升降板(28)底部的两侧均固定连接有导向杆(223)，所述导向杆(223)的底端贯穿至传动板(22)的底部，所述传动板(22)和固定板(23)的表面均开设有与导向杆(223)相适配的滑孔。

3.根据权利要求1所述的一种探卡固定微调装置，其特征在于：所述螺纹块(211)的两侧均固定连接有定位块(224)，所述升降板(28)内腔的两侧均开设有与定位块(224)相适配的定位槽(225)。

4.根据权利要求1所述的一种探卡固定微调装置，其特征在于：所述横向移动块(213)的底部开设有与升降板(28)相适配的连接槽(226)。

5.根据权利要求1所述的一种探卡固定微调装置，其特征在于：所述横向...

【专利技术属性】
技术研发人员：车志东，郭超峰，
申请(专利权)人：南京科兴半导体检测设备有限公司，
类型：发明
国别省市：