【技术实现步骤摘要】
本申请涉及深紫外光学领域，尤其涉及一种具有偏振选择功能的偏振分束装置。
技术介绍
1、在光学元件的微小颗粒检测或缺陷检测领域中，由于光学元件表面的散射特性是缺陷产生危害的根本原因，而光学元件表面的散射特性与光的偏振相关，因此光学元件的特定方向的偏振光会包含更多的信号特征，其中信号特征可以用于实现光学元件的微小颗粒检测或缺陷检测。
2、目前，通常采用波片和偏振分束镜构成的分离式结构来提取特定方向的偏振光。其中，波片间隔放置于偏振分束镜的入射端面，该波片用于对入射光进行偏振调制，从而在偏振分束镜的透射方向和反射方向提取特定方向的偏振光，显著提高了微小颗粒检测或缺陷检测的信噪比。然而，该分离式结构中的波片与偏振分束镜之间具有空气间隙，难以实现波片的快轴方向与偏振分束镜之间的严格对准，分离式结构的可靠性低。
技术实现思路
1、本申请提供一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，可实现波片的快轴方向与偏振分束镜之间的严格对准，从而提高了波片与偏振分束镜之间的对准精度，偏振分束装置的稳定性和可靠
【技术保护点】
1.一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，其特征在于，所述偏振分束装置包括波片和偏振分束镜，所述波片的出射端面与所述偏振分束镜的入射端面胶合；
2.根据权利要求1所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的出射端面通过光胶工艺与所述偏振分束镜的入射端面胶合。
3.根据权利要求1或2所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的数量为多个，多个所述波片中的任意两个所述波片的快轴方向不同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度；
5.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种具有偏振选择功能的偏振分束装置，其特征在于，所述偏振分束装置包括波片和偏振分束镜，所述波片的出射端面与所述偏振分束镜的入射端面胶合；
2.根据权利要求1所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的出射端面通过光胶工艺与所述偏振分束镜的入射端面胶合。
3.根据权利要求1或2所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的数量为多个，多个所述波片中的任意两个所述波片的快轴方向不同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反射光出射方向之间的夹角为预设角度；
5.根据权利要求1-4任一项所述的偏振分束装置，其特征在于，所述波片的快轴方向与所述偏振分束镜的反...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴巨帅，杨伟锋，李立波，
申请(专利权)人：深圳市新凯来工业机器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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