一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置及其方法，包括冷却结晶槽、分离装置以及熔晶装置，所述冷却结晶槽的出料口与分离装置的进料口连通，分离装置的其中一路出料口与熔晶装置的进料口连通，还包括预冷却装置，所述预冷却装置的进料口用于通入原料酸，预冷却装置的出料口与冷却结晶槽的进料口连通。本发明专利技术将磷酸降温过程和结晶过程分开，缩短了降温结晶过程中降温过程的时间，避免了结晶过程中晶体的粘壁现象，提升了收率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子级磷酸提纯，尤其是涉及一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置及其方法。

技术介绍

1、电子级磷酸属于高纯磷酸，主要用于芯片的清洗和蚀刻，是半导体制造中的重要湿电子化学品，其品质取决于纯度。高品质电子级磷酸要求金属元素含量极低，目前主要的纯化方法有结晶法，离子交换法，萃取法等。结晶法具有能耗低，不引入其他杂质的优势而被广泛关注。

2、磷酸结晶提纯通常是指熔融结晶，通过降温将磷酸晶体从母液中析出得到高纯磷酸晶体的过程，再将晶体熔融得到高纯磷酸。熔融结晶分为悬浮结晶和层式结晶，悬浮结晶具有装置简单，适合连续生产的优势，层式结晶提纯能力对设备要求较高，因此工业生产主要以悬浮结晶为主。

3、目前，工业生产采用的悬浮结晶装置以夹套式反应釜为主，采用内衬或喷涂pfa材质的内壁，夹套式反应釜比表面积较小，内壁材质传热系数偏低，造成了在结晶前起始降温阶段降温时间过长。

4、例如，中国专利文献cn104030261a，开(公告)日：2014.09.10，就公开了一种高纯度电子级磷酸的生产方法，方法包括向搅拌结晶器加入原料酸，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，包括冷却结晶槽（R01）、分离装置以及熔晶装置（V03），所述冷却结晶槽（R01）的出料口与分离装置的进料口连通，分离装置的其中一路出料口与熔晶装置（V03）的进料口连通，其特征在于：还包括预冷却装置（E01），所述预冷却装置（E01）的进料口用于通入原料酸，预冷却装置（E01）的出料口与冷却结晶槽（R01）的进料口连通。

2.根据权利要求1所述的一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，其特征在于：所述预冷却装置（E01）为换热器结构，预冷却装置（E01）内通入冷媒，以对通过预冷却装置（E01）的原料酸进行预冷却。</p>

3.根据...

【技术特征摘要】

1.一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，包括冷却结晶槽（r01）、分离装置以及熔晶装置（v03），所述冷却结晶槽（r01）的出料口与分离装置的进料口连通，分离装置的其中一路出料口与熔晶装置（v03）的进料口连通，其特征在于：还包括预冷却装置（e01），所述预冷却装置（e01）的进料口用于通入原料酸，预冷却装置（e01）的出料口与冷却结晶槽（r01）的进料口连通。

2.根据权利要求1所述的一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，其特征在于：所述预冷却装置（e01）为换热器结构，预冷却装置（e01）内通入冷媒，以对通过预冷却装置（e01）的原料酸进行预冷却。

3.根据权利要求1所述的一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，其特征在于：所述分离装置具有两路出料口，其中一路出料口与熔晶装置（v03）的进料口连通，另一路出料口与残液槽（v02）连通。

4.根据权利要求3所述的一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，其特征在于：所述分离装置为离心机。

5.根据权利要求1或3或4所述的一种高纯磷酸提纯制备电子级磷酸的装置，其特征在于：所述分离装置设置有至少两台。

6.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李少平，贾文星，姜飞，贺兆波，吴昊，叶瑞，冯凯，胡杜娟，王荣，苗茁，崔俊博，彭俊杰，章玲，李勇，葛雄伟，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：