提高CVD硒化锌光学质量的方法技术

一种提高CVD硒化锌光学质量的方法包括步骤：硒化锌块体前处理和筛选：将CVD法生长的硒化锌经过断料、研磨、粗抛、检测，筛选出不同质量等级的硒化锌块体、进而筛选出含有雾层雾斑的低质量的硒化锌块体；清洗：将含有雾层雾斑的低质量的硒化锌块体超声波清洗；包套准备：预先根据硒化锌块体的尺寸制作包套，包套为耐热等静压的温度和压力的纯金属材质，纯度不低于3N，包套经过超声波清洗；包套封装：将硒化锌块体装入合适尺寸的包套中，利用真空泵对包套抽真空，去除包套内的空气，然后利用热熔焊将包套封口；热等静压处理；从标准热等静压炉取出热等静压处理后的带有包套的硒化锌块体，去除套在硒化锌块体上的包套，硒化锌块体粗抛检测。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光学材料领域，更具体地涉及一种提高cvd硒化锌光学质量的方法。

技术介绍

1、硒化锌是一种黄色透明的多晶材料，晶体结构属于立方闪锌矿型，表现出高度的对称性和稳定性。它的折射率在2.4-2.6，具有较高的透光率，透光范围覆盖0.5-15μm。特别是在中红外波段(3-12μm)，透光率可达到70％以上。硒化锌材料因其优异的光学和热学性能，广泛应用于激光、医学、天文学和红外夜视等领域。它可以有效减少系统内的光损失，提高激光效率，适用于制造中红外波段激光器窗口和透镜。

2、硒化锌主要是通过化学气相沉积(cvd)法制备，然后在化学气相沉积室内生长的硒化锌的质量是有区域性分布的，在腔室内，固定区域的产品质量一般比较稳定；cvd硒化锌常见的质量缺陷有亮点、红点、雾层、雾斑等；能用于co2激光系统的高质量硒化锌占比普遍偏小；雾层(在暗室用灯光照射时雾层是材料整体雾蒙蒙状态)、雾斑(在暗室用灯光照射时雾斑呈现云朵一样的小斑块)严重的硒化锌材料只能用于低端的应用，如镀膜料；因此，如何将高质量cvd硒化锌的产率提高，成为一个亟待解决的问题。

...

【技术保护点】

1.一种提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，包括步骤：

2.根据权利要求1所述的提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的提高CVD硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的提...

【技术特征摘要】

1.一种提高cvd硒化锌光学质量的方法，其特征在于，包括步骤：

2.根据权利要求1所述的提高cvd硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的提高cvd硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的提高cvd硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的提高cvd硒化锌光学质量的方法，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：刘羊，杨雁培，于金凤，杨峰，王和风，曹林，陈杨，尤青松，王芝琳，陈小民，陈毅明，刘俊俊，李光存，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载 我是这个专利的主人