【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨组件,特别涉及一种高纯度石墨组件。
技术介绍
1、多晶硅生产过程是用石墨件将硅芯和电极连接起来,通电后硅芯表面发热产生高温,然后三氯氢硅和氢气在高温硅芯表面发生气相化学沉积反应,硅芯直径不断变大。目前常用的石墨件有三件套(卡瓣、石墨盖、石墨座),两件套(子弹头和石墨座)。目前广泛使用的两件套石墨件包括石墨底座和石墨头,石墨底座的顶部设置有供石墨头下端插入的锥孔,石墨底座下部设置有供电极插入的锥孔,石墨头的顶部开设供硅芯插入的硅芯孔,石墨头下部为锥形与石墨底座配合。
2、现有的石墨组件在使用时定位连接效果不理想,大多通过石墨底座和石墨头插接在一起进行连接,稳定性不理想,在使用的过程中容易出现脱落,因此需要提供一种高纯度石墨组件来解决问题。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种高纯度石墨组件,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
3、一种高纯度石墨组件,包括石墨组件,石墨组件包括石墨底座,所述石
...【技术保护点】
1.一种高纯度石墨组件,包括石墨组件(1),其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头连接槽(9)开设在石墨底座(2)的顶部中间,且石墨插头连接槽(9)的内壁与石墨插头(3)的内壁相接触,所述石墨插头连接槽(9)与限位滑槽(11)相互连通,所述限位滑槽(11)的顶端贯穿石墨底座(2)的顶端,且限位滑槽(11)的底端开设有弧形限位槽(12),所述限位滑槽(11)有两个,分别对称分布在石墨插头连接槽(9)的两侧,且限位滑槽(11)与弧形限位槽(12)对应设置。
3.根据权利要求2所述的一种高纯度石墨组件,其特
...【技术特征摘要】
1.一种高纯度石墨组件,包括石墨组件(1),其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头连接槽(9)开设在石墨底座(2)的顶部中间,且石墨插头连接槽(9)的内壁与石墨插头(3)的内壁相接触,所述石墨插头连接槽(9)与限位滑槽(11)相互连通,所述限位滑槽(11)的顶端贯穿石墨底座(2)的顶端,且限位滑槽(11)的底端开设有弧形限位槽(12),所述限位滑槽(11)有两个,分别对称分布在石墨插头连接槽(9)的两侧,且限位滑槽(11)与弧形限位槽(12)对应设置。
3.根据权利要求2所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头(3)的底部固定连接有限位滑块(10),且限位滑块(10)滑动连接在限位滑槽(11)的内部,所述限位滑块(10)有两个,分别对称分布在石墨插头(3)的两侧底部,且限位滑块(10)与弧形限位槽(12)对应设置。
4.根据权利要求3所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述限位滑槽(11)与封堵条(13)滑动连接,且封堵条(13)的侧面与石墨插头(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张继友,毕建璋,
申请(专利权)人:济宁卓镪机电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。