一种高纯度石墨组件制造技术

技术编号:44581710 阅读:34 留言:0更新日期:2025-03-14 12:43
本技术公开了一种高纯度石墨组件,涉及石墨组件技术领域,包括石墨组件,石墨组件包括石墨底座,所述石墨底座的顶部中间设置有石墨插头,所述石墨插头的底部设置有连接组件,连接组件包括石墨插头连接槽,所述石墨插头连接槽的侧面设置有限位滑槽,且限位滑槽的内部设置有限位滑块,所述限位滑槽的顶部设置有封堵条。本技术所述的一种高纯度石墨组件,通过设置的连接组件实现对石墨插头与石墨底座的连接,通过设置的限位滑块卡接在弧形限位槽的内部,通过设置的封堵条实现对限位滑块的限位,增加限位滑块的使用稳定性,提高石墨插头与石墨底座的连接稳定性,且通过设置的限位螺杆连接石墨底座与封堵条,进一步增加连接的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石墨组件,特别涉及一种高纯度石墨组件


技术介绍

1、多晶硅生产过程是用石墨件将硅芯和电极连接起来,通电后硅芯表面发热产生高温,然后三氯氢硅和氢气在高温硅芯表面发生气相化学沉积反应,硅芯直径不断变大。目前常用的石墨件有三件套(卡瓣、石墨盖、石墨座),两件套(子弹头和石墨座)。目前广泛使用的两件套石墨件包括石墨底座和石墨头,石墨底座的顶部设置有供石墨头下端插入的锥孔,石墨底座下部设置有供电极插入的锥孔,石墨头的顶部开设供硅芯插入的硅芯孔,石墨头下部为锥形与石墨底座配合。

2、现有的石墨组件在使用时定位连接效果不理想,大多通过石墨底座和石墨头插接在一起进行连接,稳定性不理想,在使用的过程中容易出现脱落,因此需要提供一种高纯度石墨组件来解决问题。


技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种高纯度石墨组件,可以有效解决
技术介绍
中的问题。

2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:

3、一种高纯度石墨组件,包括石墨组件,石墨组件包括石墨底座,所述石墨底座的顶部中间设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高纯度石墨组件,包括石墨组件(1),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头连接槽(9)开设在石墨底座(2)的顶部中间,且石墨插头连接槽(9)的内壁与石墨插头(3)的内壁相接触,所述石墨插头连接槽(9)与限位滑槽(11)相互连通,所述限位滑槽(11)的顶端贯穿石墨底座(2)的顶端,且限位滑槽(11)的底端开设有弧形限位槽(12),所述限位滑槽(11)有两个,分别对称分布在石墨插头连接槽(9)的两侧,且限位滑槽(11)与弧形限位槽(12)对应设置。

3.根据权利要求2所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头...

【技术特征摘要】

1.一种高纯度石墨组件,包括石墨组件(1),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头连接槽(9)开设在石墨底座(2)的顶部中间,且石墨插头连接槽(9)的内壁与石墨插头(3)的内壁相接触,所述石墨插头连接槽(9)与限位滑槽(11)相互连通,所述限位滑槽(11)的顶端贯穿石墨底座(2)的顶端,且限位滑槽(11)的底端开设有弧形限位槽(12),所述限位滑槽(11)有两个,分别对称分布在石墨插头连接槽(9)的两侧,且限位滑槽(11)与弧形限位槽(12)对应设置。

3.根据权利要求2所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述石墨插头(3)的底部固定连接有限位滑块(10),且限位滑块(10)滑动连接在限位滑槽(11)的内部,所述限位滑块(10)有两个,分别对称分布在石墨插头(3)的两侧底部,且限位滑块(10)与弧形限位槽(12)对应设置。

4.根据权利要求3所述的一种高纯度石墨组件,其特征在于:所述限位滑槽(11)与封堵条(13)滑动连接,且封堵条(13)的侧面与石墨插头(...

【专利技术属性】
技术研发人员:张继友毕建璋
申请(专利权)人:济宁卓镪机电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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