【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及退火装置，尤其涉及一种退火装置、退火方法及钙钛矿层制备方法。
技术介绍
1、钙钛矿层是决定钙钛矿太阳能电池光电转化效率的核心结构层。在制备钙钛矿层时，一般会在玻璃基板上涂覆钙钛矿前驱体液以形成液态的钙钛矿层，之后对该液态的钙钛矿层进行除溶干燥、退火结晶等步骤以得到所需钙钛矿层。
2、现有对于钙钛矿层进行退火的方式一般为热传导退火。在热传导退火方式中，一般为将涂覆有钙钛矿层的玻璃基板放置于热板上，之后热板产生热量并通过玻璃基板传导至钙钛矿层上以对钙钛矿层进行退火处理。这种方式需要热板加热至较高的温度，玻璃基板在热板的加热下可能产生弯曲变形，导致玻璃基板与热板的接触不均匀，进而导致自热板传导至钙钛矿层处的热量分布不均匀，影响钙钛矿层的退火结晶质量。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种退火装置、退火方法及钙钛矿层制备方法，用于提高钙钛矿层的退火后结晶质量。
2、本专利技术的目的采用以下技术方案实现：
3、一种退火装置，用于对钙钛矿层加
【技术保护点】
1.一种退火装置，用于对钙钛矿层（51）加热结晶，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述粗糙层（3）用于与所述基板（52）接触，且所述承载台（2）通过接触式的方式支撑所述基板（52），所述粗糙层（3）的高度起伏均方根大于0.4且小于0.9，所述粗糙层（3）的表面相关长度为所述辐射光线的波长的0.8~1.2倍；所述辐射光线的波长为200nm~2μm。
3.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述基板（52）的厚度为2mm~3.5mm，所述基板（52）的尺寸为300mm×300mm~400mm×500mm，所述...
【技术特征摘要】
1.一种退火装置，用于对钙钛矿层（51）加热结晶，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述粗糙层（3）用于与所述基板（52）接触，且所述承载台（2）通过接触式的方式支撑所述基板（52），所述粗糙层（3）的高度起伏均方根大于0.4且小于0.9，所述粗糙层（3）的表面相关长度为所述辐射光线的波长的0.8~1.2倍；所述辐射光线的波长为200nm~2μm。
3.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述基板（52）的厚度为2mm~3.5mm，所述基板（52）的尺寸为300mm×300mm~400mm×500mm，所述基板（52）为玻璃基板。
4.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述粗糙层（3）与所述基板（52）之间间隔设置，且所述承载台（2）通过非接触式的方式支撑所述基板（52），所述粗糙层（3）与所述基板（52）之间的间距为1μm~100μm；所述粗糙层（3）的高度起伏均方根大于0.6且小于0.8，所述粗糙层（3）的表面相关长度为所述辐射光线的波长的0.8~1.2倍；所述辐射光线的波长为380nm~10μm。
5.根据权利要求4所述的退火装置，其特征在于，所述基板（52）的厚度为2mm~3.5mm，所述基板（52）的尺寸为0.6m×1m~1.2m×2.4m，所述基板（52）为玻璃基板。
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：德沪涂膜设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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