【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种稀土铝中间合金、稀土铝合金粉体及其制备方法。
技术介绍
1、随着通信技术的高速发展，对无线通信设备的信号频率要求不断提高，具有更优异机电耦合系数的氮化铝钪（alscn）有望取代传统氮化铝（aln）成为新一代压电薄膜理想候选材料。高钪（10at.%以上）含量的alscn表现出更强的压电性，被广泛应用在各种微机电系统（mems）、铁电存储器（feram）及射频滤波器（rf-filter）中。但是，如何制备出高掺杂sc浓度的aln薄膜至今仍是全球技术开发人员最具挑战性的任务之一。
2、铝钪合金靶材是制备alscn薄膜的关键材料，高性能alscn薄膜对铝钪合金靶材的纯度和致密度要求较高。目前制备铝钪合金靶材的主要方法包括熔铸法和粉末冶金法。由于sc在al中的固溶度很低，且随着合金中钪含量的提高，铸锭合金成分偏析程度大，采用熔铸法难以制备高钪含量的铝钪靶材。粉末冶金法是将一定配分的粉末进行等静压烧结制备靶材，其中粉末原料的纯度和粒度是关系靶材质量的重要参数，制备高质量的铝钪靶材需要在解决成分纯度和偏析的前提下尽可能制...
【技术保护点】
1.一种稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述金属铝熔体和所述稀土金属熔体的熔融过程各自独立地在真空熔炼炉中进行；
3.如权利要求1所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述金属铝熔体和所述稀土金属熔体满足以下条件中的一种或多种：
4.如权利要求1所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，在步骤S2中，所述雾化处理为超声雾化处理或气雾化处理；
5.如权利要求4所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，在步骤s1中，所述金属铝熔体和所述稀土金属熔体的熔融过程各自独立地在真空熔炼炉中进行；
3.如权利要求1所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，在步骤s1中，所述金属铝熔体和所述稀土金属熔体满足以下条件中的一种或多种：
4.如权利要求1所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，在步骤s2中，所述雾化处理为超声雾化处理或气雾化处理；
5.如权利要求4所述的稀土铝中间合金的制备方法，其特征在于，所述稀土铝中间合金的制备方...
【专利技术属性】
技术研发人员：王琰，闫建平，张永健，崔红岩，王德盛，韩小亮，林熙，王天硕，
申请(专利权)人：福建省金龙稀土股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。