一种曲面微区XRF成像的加权修正方法技术

本发明专利技术公开了一种曲面微区XRF成像的加权修正方法。本方法为：1)对样品进行扫描，获得样品的光谱图及荧光光强I，并记录扫描时入射样品的X射线在水平面上的偏离角度θ、在垂直面上的偏离角度2)将样品对入射X射线的质量衰减系数和样品对出射荧光的质量衰减系数估计为同一个值μ，利用角度加权函数对荧光光强I进行修正，得到X射线垂直入射时的荧光强度I<subgt;1</subgt;；3)得到X射线透镜到物体表面的距离改变量y，利用距离加权函数f(y)对荧光强度I<subgt;1</subgt;进行修正，得到X射线垂直入射样品且入射距离不变时的荧光强度I<subgt;2</subgt;；4)基于荧光强度I<subgt;2</subgt;修正光谱数据，修正成像图中对应的像素值，得到修正后的荧光扫描图像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于物体检测，涉及一种扫描方法，尤其涉及一种曲面微区xrf成像的加权修正方法。

技术介绍

1、目前大部分微区x射线荧光光谱仪只能在二维平面内自由移动，所以在扫描曲面或表面不平整物体时，无法将x射线焦点始终保持在物体表面，x射线透镜与样品表面的距离和x射线入射角会发生变化，无法准确获取物体表面的元素分布信息。

2、仅有的能改变工作距离的微区x射线荧光光谱仪使用三维位移台代替二维运动系统，这种方式也只能保持光谱仪与物体表面距离不变，无法控制入射角度变化给探测器计数造成的影响。

3、使用现有的微区x射线荧光光谱仪扫描曲面物体，无法控制每一扫描点上，光谱仪的工作距离和工作角度不变，这些都会大大影响探测器计数的准确性，因此需要一种定量修正方法，使探测器在这些情况下能获得准确的计数。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种曲面微区xrf成像的加权修正方法，确保微区xrf用于曲面物体大面积扫描时的准确性。通过理论加权修正的方法，消除距离变化和x射线入射角偏本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种曲面微区XRF成像的加权修正方法，其步骤包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，利用微区X射线荧光光谱仪对样品进行扫描。

3.一种曲面微区XRF成像的加权修正系统，其特征在于，包括扫描装置、数据处理单元，其中，

【技术特征摘要】

1.一种曲面微区xrf成像的加权修正方法，其步骤包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，利用微区x射线荧...

【专利技术属性】
技术研发人员：许琼，周昫，魏存峰，魏龙，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：发明
国别省市：