【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光伏，具体涉及一种弥散系统及镀膜设备。
技术介绍
1、在光伏电池制造业中，通入特气(特种气体)进行反应是常见的工艺。传统设备采用上端进气方式，气体通过喷淋管或均流板喷淋的方式进入真空腔体，但反应效果会因气体分布不均而受到影响，以硅片镀膜工艺为例，靠近进气孔处镀膜较厚，远离处则较薄，影响了产品的性能。
2、因此，提升特气气路中气体扩散性的均匀性成为当前急需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种弥散系统及镀膜设备，解决了相关技术中特气供应均匀性较差的问题。
2、第一方面，本公开的实施例提供了一种弥散系统，应用于镀膜设备，所述弥散系统包括：至少一个匀流组件，所述匀流组件包括：多个均流板，铺设于同一个平面，且相对于一对称面对称布置，每个所述均流板均具有进气孔和多个出气孔；管道组件，包括总管道和多个分支管段，多个所述分支管段相对于所述对称面对称布置，且与多个所述均流板一一对应设置，多个所述分支管段与多个所述均流板的进气孔一一对应连通，所述总...
【技术保护点】
1.一种弥散系统，其特征在于，应用于镀膜设备，所述弥散系统包括：
2.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，位于所述对称面同一侧的多个所述分支管段沿第一方向排列，且依次连接，靠近所述对称面的所述分支管段与所述总管道的第一端连接；
3.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，多个所述均流板中心对称布置，每个所述分支管段的一端与所述总管道的第二端连通，每个所述分支管段的另一端与对应的所述均流板的所述进气孔连通，其中，每个所述分支管段的长度相等。
4.根据权利要求3所述的弥散系统，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种弥散系统，其特征在于，应用于镀膜设备，所述弥散系统包括：
2.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，位于所述对称面同一侧的多个所述分支管段沿第一方向排列，且依次连接，靠近所述对称面的所述分支管段与所述总管道的第一端连接；
3.根据权利要求1所述的弥散系统，其特征在于，每个所述匀流组件中，多个所述均流板中心对称布置，每个所述分支管段的一端与所述总管道的第二端连通，每个所述分支管段的另一端与对应的所述均流板的所述进气孔连通，其中，每个所述分支管段的长度相等。
4.根据权利要求3所述的弥散系统，...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，孔琪，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。