蒸镀装置和蒸镀方法制造方法及图纸

本申请提供了一种蒸镀装置和蒸镀方法，该装置包括：坩埚、坩埚盖、M个坩埚喷嘴和导流装置，坩埚用于产生蒸镀气体，坩埚盖用于覆盖坩埚的顶部，M个坩埚喷嘴设置在坩埚盖上，用于使得蒸镀气体从坩埚中喷出，M为正整数；导流装置设置于坩埚中，导流装置包括：导流板和N个导流件，导流板上开设N个导流孔，N个导流件通过至少两个支撑件设置于导流板上，N个导流件用于吸附或反射穿过N个导流孔的蒸镀气体中的杂质颗粒，N为小于或等于M的正整数。该蒸镀装置能够有效阻挡杂质颗粒从坩埚喷嘴喷出，从而提高了蒸镀膜层的稳定性和均匀性，改善了显示面板的性能和良率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及蒸镀设备，并且，更具体地，涉及一种蒸镀装置和蒸镀方法。

技术介绍

1、有机发光半导体(organic light emitting diode，oled)由于同时具备响应时间快，可视角度大，对比度高，重量轻，功耗低等特点，是当下显示器件研究热门领域之一，并且，由于其特有的柔性，可以制造出可弯曲、可折叠的显示屏，这使其在可穿戴设备、柔性电子设备以及曲面显示设备等新型应用中展现出巨大的潜力。

2、目前，在制备oled显示面板的过程中，需要将各层有机发光材料均匀蒸镀到基板上，即需要在基板下方设置蒸镀装置，蒸镀装置内的蒸镀材料经过加热后蒸发或气化，从蒸镀装置的喷嘴喷出，使得材料均匀地附着在基板上，以形成高质量的膜层。

3、然而，在上述过程中，部分有机材料或金属材料受热蒸发后可能出现灰化或部分变质的现象，产生杂质颗粒，这些杂质颗粒和有效材料共同经由喷嘴蒸发，沉积到基板上，这将影响显示面板的性能和良率。

技术实现思路

1、本申请提供一种蒸镀装置和蒸镀方法，该蒸镀装置能够有效阻挡杂质颗粒从本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述装置包括：坩埚、坩埚盖、M个坩埚喷嘴和导流装置，所述坩埚用于产生蒸镀气体，所述坩埚盖用于覆盖所述坩埚的顶部，所述M个坩埚喷嘴设置在所述坩埚盖上，用于使得所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出，M为正整数；

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述N个导流件的横截面面积大于或等于所述N个导流孔的横截面面积。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述N个导流件包括至少一个第一导流件，所述至少一个第一导流件为圆台形状，所述圆台包括底面和侧面；

4.如权利要求1至3中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述N个导流孔的横截...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述装置包括：坩埚、坩埚盖、m个坩埚喷嘴和导流装置，所述坩埚用于产生蒸镀气体，所述坩埚盖用于覆盖所述坩埚的顶部，所述m个坩埚喷嘴设置在所述坩埚盖上，用于使得所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出，m为正整数；

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述n个导流件的横截面面积大于或等于所述n个导流孔的横截面面积。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述n个导流件包括至少一个第一导流件，所述至少一个第一导流件为圆台形状，所述圆台包括底面和侧面；

4.如权利要求1至3中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述n个导流孔的横截面面积之和大于或等于所述导流板横截面面积的百分之二。

5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈爱国，廖先江，崔家宾，张金中，刘佳宁，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：