【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，尤其涉及一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，外延炉是一种关键设备，用于在硅片或其他基材上生长高质量的晶体层，外延炉内部的石英部件（如升降轴、下圆顶及上圆顶）在多次使用后会积累杂质和残留物，影响后续工艺的质量和效率，因此，定期清洗这些石英部件是确保外延炉正常运行的重要环节。
2、目前，常用的清洗方法包括湿法清洗和干法清洗，干法清洗通过等离子体或其他气体处理方式进行原位清洗；而湿法清洗则需要将石英部件从外延炉中取出，放置在专用的清洗槽中进行化学清洗，通过化学溶液去除石英部件表面的污染物，确保其洁净度；而现有的湿法清洗方式主要分为两种，一种是直接将石英部件放置在清洗槽中，这种方式能够更好清洗石英部件并排除清洗液，但容易导致石英部件在清洗过程中发生磕碰，增加损坏的风险，另一种是采用夹持装置固定多种石英部件，然而，现有的夹持装置存在以下问题：现有夹持装置的结构设计不利于湿洗过程化学清洗液的流通和排出，导致清洗不彻底，且清洗后化学料液不易脱离，增加了后续处理的...
【技术保护点】
1.一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板（10）、分别位于储物隔板（10）两侧的两个垂直支撑板（11）以及位于储物隔板（10）、垂直支撑板（11）后方的固定板（12），每个所述储物隔板（10）的两侧与垂直支撑板（11）一体成型设置，每个所述储物隔板（10）的后端以及垂直支撑板（11）的后端与固定板（12）一体成型设置，其特征是：
2.根据权利要求1所述的一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，其特征是：上层所述储物隔板（10）与相邻的中间层储物隔板（10）配合两侧的垂直支撑板（11）及后方的固定板（12）形...
【技术特征摘要】
1.一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板（10）、分别位于储物隔板（10）两侧的两个垂直支撑板（11）以及位于储物隔板（10）、垂直支撑板（11）后方的固定板（12），每个所述储物隔板（10）的两侧与垂直支撑板（11）一体成型设置，每个所述储物隔板（10）的后端以及垂直支撑板（11）的后端与固定板（12）一体成型设置，其特征是：
2.根据权利要求1所述的一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，其特征是：上层所述储物隔板（10）与相邻的中间层储物隔板（10）配合两侧的垂直支撑板（11）及后方的固定板（12）形成单侧敞口的第一储物层（100），中间层储物隔板（10）与下层储物隔板（10）配合两侧的垂直支撑板（11）及后方的固定板（12）形成单侧敞口的第二储物层（101），第一储物层（100）的高度高于下圆顶（5）的盘状部（51）的高度，确保盘状部（51）能够移动至第二定位件（21）上方并伸入至第二定位件（21）中，第二储物层（101）的高度高于上圆顶（6）的高度，确保上圆顶（6）能够移动至第三定位件（22）中，并使其外壁与第三定位件（22）抵靠。
3.根据权利要求1所述的一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，其特征是：所述定位装置还包括可拆式连接在孔洞（13）上的限位组件，分别用于将升降轴（4）、下圆顶（5）和上圆顶（6）沿垂直方向固定在对应的储物隔板（10）上，限位组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置，其特征是：所述第一连接部（301）、第二连接部（303）及第三连接部（305）上设置有外螺纹（306），外螺纹（306）穿设孔洞（13）后通过螺母连接，使得第一连接部（301）连接在上层储物隔板（10）、第二连接部（303）连接在中间层储物隔板（10）、第三连接部（305）连接在下层储物隔板（10）上；或者所述第一连接部（301）、第二连接部（303）及第三连接部（305）上均设置有至少一对具有弹性的卡扣部（307），当卡扣部（307）穿过孔洞（13）后，卡扣部（307）会自动弹出并紧固于连接部周向，并与对应的储物隔板（10）形成卡接。
5.根据权利要求2所述的一种用于外延炉内石英部件清洗的...
【专利技术属性】
技术研发人员：何朝阳，肖尚青，高瑾，张成满，吴蔡根，
申请(专利权)人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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