【技术实现步骤摘要】
本技术涉及英炉管领域，具体为一种负压石英炉管。
技术介绍
1、在光伏行业，高温扩散炉与其内的石英管相配合使用主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成pn结。目前常规的扩散炉用石英管设置在扩散炉的腔体内，通过加热扩散炉来升温，并在石英管上设有进气口和排气口，在扩散工艺过程中，待扩散的硅片置于石英管中央，扩散炉开始升温，杂质源气体从进气口进入管内，杂质源气体在高温下反应并扩散进入硅片内。
2、根据公开专利202121947856.1可知，一种负压石英炉管，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的顶端固定连通有进气管和出气管，所述进气管和出气管的外壁共同套接有连接罩，所述连接罩的上表面固定连接有连接板，所述连接板和连接罩的上表面均开设有两个与进气管和出气管相配合的连接通孔，所述连接罩的内壁与石英炉管主体的内壁活动连接，所述连接罩的下表面固定连接有多个加强杆，在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在以下问题没有得到解决，通过设置有连接机构和固定机构解决了石英管安装不稳定和安装容易出现损坏的问题，使用过程中，传统的石英管体...
【技术保护点】
1.一种负压石英炉管，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)的一端安装有端盖(3)，所述炉体(1)的另一端安装有尾盖(11)，所述尾盖(11)的一端安装有弧形抵置板(12)，所述尾盖(11)外部的两侧通过安装板(13)连接有转动板(14)，所述转动板(14)的另一端安装有卡柱(15)，所述卡柱(15)的外部活动连接有第一限位板(16)，所述第一限位板(16)通过弹簧(17)连接有第二限位板(18)，所述炉体(1)另一端的两侧安装有卡板(19)，所述炉体(1)的内部安装有限位环(2)，所述限位环(2)通过限位槽(21)连接有滚珠(22)，所述限位环(2)通过滚珠(2...
【技术特征摘要】
1.一种负压石英炉管，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)的一端安装有端盖(3)，所述炉体(1)的另一端安装有尾盖(11)，所述尾盖(11)的一端安装有弧形抵置板(12)，所述尾盖(11)外部的两侧通过安装板(13)连接有转动板(14)，所述转动板(14)的另一端安装有卡柱(15)，所述卡柱(15)的外部活动连接有第一限位板(16)，所述第一限位板(16)通过弹簧(17)连接有第二限位板(18)，所述炉体(1)另一端的两侧安装有卡板(19)，所述炉体(1)的内部安装有限位环(2)，所述限位环(2)通过限位槽(21)连接有滚珠(22)，所述限位环(2)通过滚珠(22)活动连接有石英管体(23)。
2.如权利要求1所述的一种负压石英炉管，其特征在于，所述尾盖(11)的一端密封连接在所述炉体(1)另一端的内壁，所述弧形抵置板(12)的一端与所述尾盖(11)的一端固定连接，所述弧形抵置板(12)的另一端抵置在所述石英管体(23)的外表面。
3.如权利要求1所述的一种负压石英炉管，其特征在于，所述安装板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡文菊，翟亮，许金华，
申请(专利权)人：江苏大煦朗宁新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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