【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光伏组件生产制造，具体涉及一种太阳能电池及其制备方法和光伏组件。
技术介绍
1、发射极和背面钝化电池(perc)技术是目前市场上的主流电池技术，目前量产的perc电池效率水平可以达到大约23.5％，但提升电池效率到24％以上难度较大。ibc电池(交叉背接触电池)由于正面没有遮光，电池效率可以做到24.5％以上，如果叠加钝化接触结构，效率可以做到26％以上，但目前ibc电池的制备工艺复杂，一直未成为现阶段的主流路线大规模量产。目前普遍认为perc的下一代电池技术为n型的隧穿氧化层钝化接触电池(topcon电池)或者异质结电池以及ibc电池技术。ibc电池技术可以叠加topcon或者异质结结构，如构建tbc背接触太阳能电池(topcon-ibc电池)，结合了topcon技术的隧穿氧化层钝化接触以及ibc技术的叉指式背接触结构，能够进一步提高电池效率。目前的tbc电池技术多以沉积或者印刷掩膜+湿法刻蚀或者印刷浆料扩散的方式来制备，然而湿法刻蚀工艺复杂，印刷浆料或多或少会存在污染问题且同样工序复杂，导致电池效率难以提高。
<...【技术保护点】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述隧穿氧化层、p+掺杂非晶碳化硅层和p+掺杂非晶硅层的形成方法分别独立地为等离子增强化学气相沉积法；
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述凹槽的形成方法包括：在所述p+掺杂非晶硅层的外表面形成第一掩膜层，依次进行图案化激光开窗和刻蚀处理；
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述凹槽的形成方法包括：在所述硅基体形成有所述凹槽的一侧表面上依次形成一层n+掺杂非晶硅层和第二掩膜层，依...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述隧穿氧化层、p+掺杂非晶碳化硅层和p+掺杂非晶硅层的形成方法分别独立地为等离子增强化学气相沉积法；
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述凹槽的形成方法包括：在所述p+掺杂非晶硅层的外表面形成第一掩膜层，依次进行图案化激光开窗和刻蚀处理；
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述凹槽的形成方法包括：在所述硅基体形成有所述凹槽的一侧表面上依次形成一层n+掺杂非晶硅层和第二掩膜层，依次进行图案化激光开窗和刻蚀处理；
5.根据权利要求1-...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶晓亚，陈阳，李新岳，刘楦，赵艳，陈海燕，邓伟伟，
申请(专利权)人：扬州阿特斯太阳能电池有限公司，
类型：发明
国别省市：
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