太阳能电池及其制备方法技术

一种太阳能电池及其制备方法。制备方法包括：提供一硅衬底，硅衬底具有相对设置的第一表面和第二表面；在第一表面和/或第二表面形成隧穿层；在所述隧穿层远离所述硅衬底的一侧形成第一介质层；在所述第一介质层远离所述隧穿层的一侧形成第一掺杂层；退火使所述第一介质层和所述第一掺杂层转变为钝化接触层。本发明专利技术通过在隧穿层和掺杂层之间制备一层第一介质层，可以在退火时防止掺杂剂向内扩散，还能在制备电极时有效阻止金属浆料烧穿或破坏钝化接触层。一方面可以提高钝化接触层的钝化效果，从而提高开路电压；另一方面还可以减薄钝化接触层的整体厚度，降低钝化接触层对光的寄生吸收，提高光吸收，进而提高短路电流。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏领域，尤其涉及一种太阳能电池及其制备方法。

技术介绍

1、目前，太阳能电池技术的发展旨在提高光电转换效率并降低生产成本。在perc电池(passivated emitter and rear cell，发射极和背面钝化电池)的基础上，topcon(tunnel oxide passivated contact，隧穿氧化层钝化接触)电池因其优异的背光面钝化效果和高效电流传输能力，可以提高光电转换效率，目前达到24.8％的高转换效率，成为光伏行业研究的重点。

2、隧穿钝化接触结构通常由隧穿层和掺杂多晶硅层(poly层)构成，然而在poly层制备工艺中，存在隧穿层被破坏的风险，影响钝化效果，制约了电池效率的提升。

3、有鉴于此，有必要提供一种改进的太阳能电池及其制备方法，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本专利技术旨在能够至少解决现有技术存在的技术问题之一，本专利技术提供一种太阳能电池及其制备方法，通过优化制备工艺，保持优异钝化效果，进一步提升太阳能电池的光电转换效率本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：退火过程中，所述第一掺杂层的掺杂剂向所述第一介质层扩散；退火后，所述第一介质层转变为导电钝化层，所述导电钝化层与退火后的第一掺杂层共同构成所述钝化接触层。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：退火前，所述第一介质层与所述第一掺杂层具有相同的晶体结构；和/或，所述导电钝化层与退火后的所述第一掺杂层具有相同的晶体结构。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：在所述隧穿层远离所述硅衬底的一侧形成本征非晶...

【技术特征摘要】

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：退火过程中，所述第一掺杂层的掺杂剂向所述第一介质层扩散；退火后，所述第一介质层转变为导电钝化层，所述导电钝化层与退火后的第一掺杂层共同构成所述钝化接触层。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：退火前，所述第一介质层与所述第一掺杂层具有相同的晶体结构；和/或，所述导电钝化层与退火后的所述第一掺杂层具有相同的晶体结构。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：在所述隧穿层远离所述硅衬底的一侧形成本征非晶硅层作为所述第一介质层；

5.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述第一介质层的厚度为1nm～15nm。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述第一掺杂层的厚度为20nm～60nm。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：

8.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述太阳能电池的制备方法还包括在所述第一掺杂层远离所述第一介质层的一侧形成第二掺杂层，所述第一掺杂层的掺杂浓度不大于所述第二掺杂层的掺杂浓度；或

9.根据权利要求8所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述太阳能电池的制备方法还包括在所述第一掺杂层与所述第二掺杂层之间形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁健，董永志，张叶，刘会，陈静，
申请(专利权)人：扬州阿特斯太阳能电池有限公司，
类型：发明
国别省市：