一种Zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用技术

本发明专利技术实施例提供一种Zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用，所述Zn基有机配位纳米颗粒的通式为Zn<subgt;x</subgt;(M)<subgt;y</subgt;(N)<subgt;z</subgt;，x，y，z为≥1的整数，M为肉桂酸及其衍生物；N为有机脂肪胺类及其衍生物、吡啶及其衍生物、吡咯及其衍生物、嘧啶及其衍生物、哒嗪及其衍生物、哌啶及其衍生物、酰胺及其衍生物中的任意一种或多种。本发明专利技术实施例提供的Zn基有机配位纳米颗粒光刻胶，可以在没有光引发剂的条件下，通过光刻胶结构中的肉桂酸吸收光子自引发，直接获得曝光图形，从而提高了曝光效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术实施例涉及光刻胶，特别是涉及一种zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用。

技术介绍

1、光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料。它通常由光引发剂、光刻胶树脂、溶材料剂、单体和其他助剂组成。其中，光引发剂是一类能在紫外光区(250～420nm)或可见光区(400～800nm)吸收一定波长的能量，产生自由基、阳离子等，从而引发单体聚合或聚合物分解的化合物。一直以来，传统的光刻胶和近几年广泛研究的金属基光刻胶，都需要在光引发剂的作用下，发生化学变化，进而产生溶解度变化。

2、但是，光子需要首先被光引发剂吸收发生分解，然后光引发剂产物再和光刻胶树脂反应，为了保证光引发剂在溶剂中的溶解度，光引发剂的添加量有限，因此曝光效率低、光刻胶灵敏度低，大大影响了生产效率。此外，光引发剂化学性质不稳定、价格昂贵，因此增加了生产过程中的成本和难度。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对传统光刻胶曝光效率低且成本高的问题，提出一种新的zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、包含其的光刻胶组合物及本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种Zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，所述Zn基有机配位纳米颗粒的通式为Znx(M)y(N)z，x，y，z均≥1的整数，M化合物为肉桂酸及其衍生物，N为有机脂肪胺类及其衍生物、吡啶及其衍生物、吡咯及其衍生物、嘧啶及其衍生物、哒嗪及其衍生物、哌啶及其衍生物、酰胺及其衍生物中的任意一种或多种。

2.如权利要求1所述的Zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，M为通式(I)的化合物，其中，R1、R2、R3、R4、R5分别独立地选自氢、烷基、烷氧基、烷基醇、卤代烃、羟基、甲氧基、硝基、-F、-Cl、-Br或-I。

3.如权利要求2所述的Zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，所述zn基有机配位纳米颗粒的通式为znx(m)y(n)z，x，y，z均≥1的整数，m化合物为肉桂酸及其衍生物，n为有机脂肪胺类及其衍生物、吡啶及其衍生物、吡咯及其衍生物、嘧啶及其衍生物、哒嗪及其衍生物、哌啶及其衍生物、酰胺及其衍生物中的任意一种或多种。

2.如权利要求1所述的zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，m为通式(i)的化合物，其中，r1、r2、r3、r4、r5分别独立地选自氢、烷基、烷氧基、烷基醇、卤代烃、羟基、甲氧基、硝基、-f、-cl、-br或-i。

3.如权利要求2所述的zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，所述通式(ⅰ)所示的化合物的结构式为

4.如权利要求1所述的zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，n化合物为二乙胺，所述zn基有机配位纳米颗粒的结构式为zn(c6h5chchcoo)4(c4h11n)2h2。

5.如权利要求1所述的zn基有机配位纳米颗粒，其特征在于，所述zn基有机配位纳米颗粒晶体的尺寸为1nm-4nm。

6.如权利要求1-5任一项所述的zn基有机配位纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

7.如权利要求6所述的zn基有机配位纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述含锌化合物选自醋酸锌、二水合醋酸锌、氯化锌或硫酸锌等锌盐。

8.如权利要求6所述的zn基有机配位纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述含氮有机配体选自二乙胺、...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏，何向明，陶佩佩，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：