液体装置、液体装置制造设备和方法以及图像显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及被配置以实现电容的增加并能够抑制击穿的液体装置、液体装置制造设备和方法以及图像显示装置。具有比防水膜（４４）高的绝缘性能和高的介电常数的绝缘膜（４３）最新形成在下电极（４２）与防水膜（４４）之间，从而补偿了绝缘强度并抑制了击穿。作为绝缘膜（４３）的材料，具有较高绝缘性能和较高介电常数的绝缘膜是优选的。例如，引用了聚合物材料和无机材料。例如，ＳＯＧ是硅基无机涂料。通过旋涂等方法施加并沉积其溶液，然后，通过以相对低的温度进行烘焙而使该溶液变成玻璃。本发明专利技术可应用于液体装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及液体装置、液体装置制造设备和方法以及图 <象显示 装置，具体地，涉及被配置以实现介电常数的增加并能够抑制击穿 的发生的液体装置、液体装置制造设备和方法以及图像显示装置。本申请要求于2007年1月10日提交的日本专利申请第 2007-002552号和第2007-002553号的4尤先4又的纟又利，并且这些申 请结合于此作为参考。
技术介绍
通常，存在一种电润湿技术，其中，通过利用控制静电润湿性 的电润湿产生液体的变形和移位并且通过这个现象达到所需效果， 并且考虑在各个领域中都利用这项技术。例如，对于采用液晶的光闸，执行各种改进方法，诸如改进液 晶分子与偏光片吸收轴之间的角度(例如，参考专利文献l)、改进电场施加(例如，参考专利文献2和专利文献3)、对准处理(例如， 参考专利文献4)以及在基板上提供凹陷和凸起(例如，参考专利 文献5)。然而，所有情况都牵涉诸如光提取效率低和响应速度非常此外，例如，作为用于增加在三维显示装置中的—见差^t的方法， 存在使微透镜阵列相对于发光像素移动并且使光折射到多个方向的方法(例如，参考专利文献6)以及控制液体透镜的液滴的位置 的方法(例如，参考专利文献7)。然而，考虑使用电润湿才支术的方 法来代替这些方法。此外，考虑还对其焦距任意变化的可变焦透镜、液体的流路控 制、液泵等利用这种电润湿技术。以下将描述这种电润湿:技术的原理。图1是示出应用电润湿才支术的液体装置的基本配置实例的示图。如图1所示，在液体装置1中，具有对极性液体13的防水性 的绝缘防水膜12形成在一个电极11上，并且对设置在防水膜12 上的极性液体13提供另一个电极14。在电极11与电极14之间施 加电源15的电压。；fel性液体13对防水膜12的润湿性随着这个施 加电压的幅度而改变，并且极性液体13与防水膜12之间的接触角 e发生改变。即，才及性液体13的界面形状改变。因此，例如，液体 装置1可以通过控制施加电压的幅度来对通过该纟及性、液体的透射光 的光^各施加影响。更具体;也，以下的等式(1) ~ (3)适用于才及性液体13对防 水月莫12的润湿性。yLVcos9 = ysvys:L + Yew ... ( 1 ) Yew = d x cyL2/2 x ￡。 x sr … (2 ) cjl = ￡0 x sr x v/d … (3 )在这些等式中，YLV表示液体与蒸汽之间的界面张力。YSV表示 固体与蒸汽之间的界面张力。YsL表示固体与液体之间的界面张力。丫EW表示取决于电场强度的界面张力。So表示真空的渗透率。Sr表示 防水膜12的相对介电常凄t。此夕卜，V表示施加电压的幅度，以及d 表示电极之间的长度。即，4及性液体13对防水膜12的润湿性随施加电压的幅度而改 变，并且才及性'液体13变形或移动。除此之夕卜，例如，还存在以下方法，其中，通过改变电压施加 位置来使极性液体13移动或变形。该方法的原理与上述情况相似。 此外，还存在另一种方法。在这种方法中，除才及性'液体13之外， 提供不与极性液体13混合并且不受施加电压影响的非极性液体。 这种非极性液体被形状被施加电压改变的极性液体13推动，使得 非极性液体的形状改变。通过非4及性液体的这种形状改变达到所需 效果。这种方法的原理与图1的情况相似。专利文献1:日本专利7>开第2005-284261号专利文献2:日本专利^^开第2003-262847号专利文献3:日本专利/>开第2002-131717号专利文献4:日本专利/〉开第2002-148625号专利文献5:日本专利7>开第2000-347171号专利文献6:日本专利/>开第2002-176660号专利文献7:日本专利7>开第2003-215478号
技术实现思路
技术问题然而，因为驱动电压非常高至约30 V并且装置的功库毛也可能 4艮高，所以常失见方法是不实用的。为了用较低的电压驱动液体装置1,如等式(l) ~ (3)所示， 需要增大液体装置1的电容，即，增加防水膜12的介电常婆丈和减 小防水膜12的厚度。然而，用作防水膜12的材料的相对介电常凄t通常非常〗氐至约 2,并且即使非常小的电压，厚度的减小也会引起击穿。因此，为 了避免击穿，防水膜12的厚度需要被设得很大，这可能导致高的 工作电压。鉴于这些情况作出本专利技术并且本专利技术用以实现电容的增加并 能够抑制击穿。^支术解决方案本专利技术的第一方面是一种液体装置，具有第一电才及和第二电 极，其间被施加电压；绝缘部，形成在第一电极的表面上并且使第 一电极与第二电极在结构上绝缘；以及液体，设置绝缘部与第二电 才及之间并具有极性。通过在第一电才及与第二电极之间的电压施加而 向绝缘部施加电场，从而控制绝缘部的表面对液体的润湿性并使液 体变形或移位。绝缘部由具有第一层和第二层的双层结构形成。第 一层形成在第二层与第一电极的表面之间，并且具有比第二层更高 的介电性能以及更高的绝缘性能。第二层形成在第 一层与液体之 间，并且具有比第一层更高的防水性。以下配置是可能的。具体地，第一电极由多个电极构成，并且 第一电极整体的表面不是平坦表面。此外，第一层被形成为吸收第 一电极整体的表面上的凹陷和凸起，并且第一层的表面变为平坦表面。本专利技术的第二方面是一种制造液体装置的液体装置制造设备，该液体装置具有第一电极和第二电极，其间被施加电压；绝缘部， 形成在第一电极的表面上，并使第一电极与第二电极在结构上绝 缘；以及液体，设置在绝缘部与第二电极之间并具有极性。通过第 一电才及与第二电才及之间的电压施力口而向绝》彖部施加电场，乂人而控制 绝缘部的表面对液体的润湿性并使液体变形或移位。液体装置制造 设备具有第一形成装置，在其上设置有第一电极的透明基板的表 面上形成具有高介电性能和高绝缘性能的第 一层作为绝缘部；以及 第二形成装置，在通过第一形成装置形成的第一层的表面上形成具 有比第 一层更高的防水性的第二层作为绝缘部。第一形成装置通过使用旋涂法形成第一层，在旋涂法中，通过 利用离心力使膜厚度均匀。如果第一电极由多个电极构成并且第一电极整体的表面不是 平坦表面，则第 一形成装置以吸收第 一 电极整体的表面上的凹陷和 凸起并使第一层的表面变为平坦表面的方式形成第一层。本专利技术的第二方面还是一种制造液体装置的液体装置制造设 备的液体装置制造方法，液体装置具有第一电极和第二电才及，其 间一皮施加电压；纟色》彖部，形成在第一电才及的表面上并且4吏第一电才及 与第二电极在结构上绝缘；以及液体，设置在绝缘部与第二电极之 间并具有极性。通过第一电极与第二电才及之间的电压施加而向绝缘 部施加电场，/人而控制绝纟彖部的表面对液体的润湿性并〗吏液体变形 或移位。液体装置制造方法具有第一形成步骤，在其上设置有第一电极的透明基板的表面上形成具有高介电性能和高绝缘性能的第一层作为绝缘部；以及第二形成步骤，用于在通过第一形成步骤 的处理形成的第 一层的表面上形成具有比第 一层更高的防水性的 第二层作为绝缘部。本专利技术的第三方面是一种通过发光来显示图i象的图^f象显示装 置。图像显示装置具有液体装置，液体装置具有第一电极和第二 电极，其间被施加电压；绝缘部，形成在第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体装置，包括：　第一电极和第二电极，其间被施加电压；　绝缘部，形成在所述第一电极的表面上，并使所述第一电极与所述第二电极在结构上绝缘；以及　液体，设置在所述绝缘部与所述第二电极之间并具有极性，其中，　通过所述第 一电极与所述第二电极之间的电压施加而向所述绝缘部施加电场，从而控制所述绝缘部的表面对所述液体的润湿性并使所述液体变形或移位，　所述绝缘部由具有第一层和第二层的双层结构形成，　所述第一层形成在所述第二层与所述第一电极的表面之间，并 具有比所述第二层高的介电性能和高的绝缘性能，并且　所述第二层形成在所述第一层与所述液体之间，并具有比所述第一层高的防水性。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥贤一，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]