【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体，涉及一种单晶硅生长技术，特别是涉及一种可移动石英销装置及液面距离测量系统。
技术介绍
1、单晶硅被广泛的应用于红外光谱频率光学元件、红外及射线探测器、集成电路、太阳能电池等，是目前最重要、产量最大、发展最快、用途最广泛的一种半导体材料。当前制备单晶硅主要有两种技术：悬浮区熔法(float-zone method，fz法)和坩埚直拉法(czochralski method，cz法)。其中，cz法制备的单晶硅主要应用于微电子集成电路和太阳能电池方面。
2、cz法制备单晶硅是把硅熔融在石英坩埚中，将籽晶插入熔硅表面进行熔接并拉制生长出单晶硅，坩埚上方设置有导流筒，充入氩气作为保护气体。由于导流筒和熔液的距离影响氩气的流动、杂质的蒸发、熔液的温度梯度等参数，进而影响晶体质量和产量，液面距离的测量和控制十分重要。目前的液面距离测量采用在导流筒底部安装石英销，用摄像机捕捉石英销的倒影，以此定位液面，但安装的石英销容易掉落，且在硅原料的加料过程中碰撞也容易断裂，掉下的石英碎屑会污染硅料，且溅起的熔硅粘在石英销上也会影响液...
【技术保护点】
1.一种可移动石英销装置，其特征在于，包括石英销以及收放控制组件；所述石英销通过导流筒底部的通孔贯穿导流筒底部，当所述石英销装置处于测量状态时，所述石英销下端探出导流筒底部；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述石英销连接件为齿条连接件，所述齿条连接件上端为齿条，下端为平滑的条状结构，所述连接件移动机构包括齿轮以及控制所述齿轮转动的电机，所述齿轮与所述齿条互相啮合。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述移动机构控制单元为开关或电机驱动芯片。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电机下方设置有隔热层，所述...
【技术特征摘要】
1.一种可移动石英销装置，其特征在于，包括石英销以及收放控制组件；所述石英销通过导流筒底部的通孔贯穿导流筒底部，当所述石英销装置处于测量状态时，所述石英销下端探出导流筒底部；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述石英销连接件为齿条连接件，所述齿条连接件上端为齿条，下端为平滑的条状结构，所述连接件移动机构包括齿轮以及控制所述齿轮转动的电机，所述齿轮与所述齿条互相啮合。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述移动机构控制单元为开关或电机驱动芯片。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电机下方设置有隔热层，所述隔热层上设置有开孔，所述齿条连接件穿过所述开孔与所述石英销固定连接。
5.根据权利要求2所述的装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘子伟，陈水斌，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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