【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种等离子清洗机喷头，具体涉及一种冷却型等离子清洗机喷头。
技术介绍
1、在工件表面处理前为得到良好的材料表面附着力，采用等离子体进行表面清洁处理是一种常见的处理方式。等离子体是由部分电子被剥夺后的原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，等离子体是一种很好的导电体，主要利用等离子体处理装置的喷头喷射至工件表面以达到处理目的。
2、传统的等离子清洗机喷头缺少冷却结构或是冷却效果不佳，从而导致了等离子喷头工作时，电极板温度持续升高，电极板发热损耗快，影响了等离子喷头的清洗的效果。例如，在对膜进行清洗时，温度过高，造成膜变形等问题。
3、因此，设计了一种冷却型等离子清洗机喷头来解决上述问题。
4、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
1、为克服上述现有...
【技术保护点】
1.一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于：所述盖体（3）的上端面开设有进气孔（8），所述底座（1）的下端面开设有与所述安装腔体（2）连通的出气孔（9），所述安装腔体（2）的侧壁开设有若干个气流通道（10），所述气流通道（10）分别与所述进气孔（8）和所述出气孔（9）连通设置。
3.根据权利要求2所述的一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于：所述出气孔（9）设置有若干个，所述出气孔（9）均布开设在一出气区域内，所述出气区域与所述电极板（4）的尺寸、位置均对应设置。
<...【技术特征摘要】
1.一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于：所述盖体（3）的上端面开设有进气孔（8），所述底座（1）的下端面开设有与所述安装腔体（2）连通的出气孔（9），所述安装腔体（2）的侧壁开设有若干个气流通道（10），所述气流通道（10）分别与所述进气孔（8）和所述出气孔（9）连通设置。
3.根据权利要求2所述的一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于：所述出气孔（9）设置有若干个，所述出气孔（9）均布开设在一出气区域内，所述出气区域与所述电极板（4）的尺寸、位置均对应设置。
4.根据权利要求2所述的一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于：所述气流通道（10）均布开设在所述安装腔体（2）的两侧，所述气流通道（10）的侧壁为圆弧形。
5.根据权利要求2所述的一种冷却型等离子清洗机喷头，其特征在于：所述底座（1）上还开设有冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐克佳，迮晓波，
申请(专利权)人：苏州源永动电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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