【技术实现步骤摘要】
本公开的实施方案涉及电子测试系统以及用于其操作的算法和方法。特别地，一些实施方案涉及用于集成电路测试的技术。
技术介绍
1、集成电路(ic)测试涉及半导体晶片或晶片部分(例如，切片晶片)的个别晶体管或晶体管群组的测量，被称为“待测设备”或dut。典型的ic测试体系包括通过以不断升高的功率对电路施加周期性信号来检验不同工作状况下的电路性能，并且确定电路在什么点无法按规范工作。为此，ic测试还包括测量来自ic部件的输出信号，以将测量的输出与预期输出进行比较。
2、输出信号的测量因若干因素而变得复杂。例如，ic可包含数十亿个晶体管和数十亿个内部信号网，但可能仅有数百个输入/输出引脚。因此，当待测ic部件的输出信号不匹配其预期输出时，可对ic内的内部信号进行探测，以确定导致输出信号故障的局部原因。因此，需要可在测试期间以直观地进行外观检查的方式(例如，在故障排除期间)对dut中的内部和输出信号进行采样，同时保护ic部件使其不发生性能下降，并且在ic测试期间在占空比偏离标称条件时提高信噪比的技术。
技术实现
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1.一种计算机实现的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，其中所述瞬态信号是周期性电信号，其中值“P”是以时间为单位进行测量的所述瞬态信号的周期，并且其中所述脉冲周期与P的整数倍N*P相差增量dP。
3.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，所述方法还包括使用所述波形数据确定所述瞬态电信号的占空比。
4.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，其中所述检测器数据是使用成像模式下的扫描电镜生成的，并且其中所述检测器数据包括所述样本的表面的图...
【技术特征摘要】
1.一种计算机实现的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，其中所述瞬态信号是周期性电信号，其中值“p”是以时间为单位进行测量的所述瞬态信号的周期，并且其中所述脉冲周期与p的整数倍n*p相差增量dp。
3.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，所述方法还包括使用所述波形数据确定所述瞬态电信号的占空比。
4.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，其中所述检测器数据是使用成像模式下的扫描电镜生成的，并且其中所述检测器数据包括所述样本的表面的图像，所述图像包含描述所述波形的对比度信息。
6.根据权利要求5所述的计算机实现的方法，其中所述图像包含二维图像数据，并且所述对比度信息包括二维对比度模式，并且其中生成所述波形数据包括沿垂直于所述对比度模式的方向从所述检测器数据中采样图像数据的一维矢量。
7.根据权利要求1所述的计算机实现的方法，其中所述检测器数据是使用定点模式下的扫描电镜生成的，其中所述检测器数据包括所述样本的表面上位置的振幅随时间变化的检测器信号。
8.根据权利要求7所述的计算机实现的方法，其中所述位置是所述样本的所述表面上的第一位置，所述检测器数据是第一检测器数据，所述时间段是第一时间段，所述倍数是第一倍数，并且所述波形数据是第一波形数据，所述方法还包括：
9.根据权利要求7所述的计算机实现的方法，其中生成所述波形数据包括从所述检测器信号中采样区段，所述区段描述所述瞬态电信号的时间...
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