钝化接触太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术涉及光伏技术领域，公开了钝化接触太阳能电池及其制备方法。制备方法，包括：提供具有相对的第一表面和第二表面的基底层；在基底层的第一表面上形成氧化层；对氧化层的表面进行激光烧结处理；在激光烧结处理后的氧化层上形成第一掺杂层；在基底层的第二表面上形成第二掺杂层；在基底层的第一表面一侧形成连接第一掺杂层的第一电极，在基底层的第二表面一侧形成连接第二掺杂层的第二电极。本发明专利技术中，对氧化层激光烧结处理实现氧化层表面的精准优化，改善表面和界面特性，进而降低氧化层与基底层和第一掺杂层的表面复合速率，提高载流子寿命，从而提升电池的光电转换效率和稳定性，从而提高发电效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏，具体涉及一种钝化接触太阳能电池及其制备方法。

技术介绍

1、隧穿氧化层钝化接触电池(tunnel oxide passivated contact，简称topcon电池)是一种基于n型硅材料的高效率太阳能电池，相比于传统的太阳能电池，topcon电池能够进一步提高太阳能电池的光电转换效率和降低成本。topcon电池的特点是：在n型硅片背面制备一层超薄氧化硅和掺杂多晶硅层，以形成隧穿氧化层钝化接触结构，从而有效降低金属接触复合，进而提高电池的开路电压和短路电流。

2、在光伏电池
，影响电池效率提高的一个重要因素是电子空穴对的复合。相关技术中，在topcon电池背面进行多晶硅层掺杂、电极烧结制备等过程中，易对隧穿氧化层造成损伤，使得隧穿氧化硅层的厚度和质量难以精准控制，导致隧穿氧化层表面复合速率加快，载流子寿命降低，从而影响电池片的电极欧姆接触质量和背面场的形成，最终导致电池的光电转换效率下降。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种钝化接触太阳能电池及其制备方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述对所述氧化层的表面进行激光烧结处理包括：对所述氧化层整个表面进行激光束扫描处理，以烧结所述氧化层。

3.根据权利要求2所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述激光束包括波长为1064nm的红外脉冲光束。

4.根据权利要求3所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述氧化层的厚度范围为1nm～5nm。

5.根据权利要求4所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述提供基底层之后，且在所述...

【技术特征摘要】

1.一种钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述对所述氧化层的表面进行激光烧结处理包括：对所述氧化层整个表面进行激光束扫描处理，以烧结所述氧化层。

3.根据权利要求2所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述激光束包括波长为1064nm的红外脉冲光束。

4.根据权利要求3所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述氧化层的厚度范围为1nm～5nm。

5.根据权利要求4所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述提供基底层之后，且在所述基底层的第一表面上形成氧化层之前，还包括：在所述基底层的第一表面上形成钝化层，所述氧化层形成于所述钝化层上。

6.根据权利要求4所述的钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述基底层的第一表面上形成氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李羽佳，任勇，陈德爽，锁英容，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：