本发明专利技术提供一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法，所述方法包括如下步骤：(1)喷砂后靶材经清洗后，先在喷砂后靶材的表面设置一层密封层，所述密封层上具有可开关的抽气孔和通气孔，得到密封后靶材；(2)打开抽气孔和通气孔，向所述通气孔中通入热气体，并从所述抽气孔中排出热气体，对所述密封后靶材进行第一干燥；(3)关闭通气孔，从所述抽气孔持续抽真空并加热，进行第二干燥，得到防氧化后靶材，本发明专利技术摈弃常规吹扫的方式进行干燥，而是先在喷砂后靶材的表面建立密闭空间，再进行吹扫，水分去除的效果更佳，且能够适用于喷砂后表面粗糙度更小的表面，防氧化性能更优。
2、靶材组件通常由靶材和背板通过焊接构成，为提高焊接强度，需要对靶材和背板的待焊接面进行提前处理，其中经常采用的方式是喷砂处理，提高其表面粗糙度，然而由于喷砂面的特性，经过清洗处理后的喷砂面上往往会有清洗液残留，且在干燥过程中容易使其发生氧化，影响靶材的表观性能及后续使用，造成靶材产品不良率的提高。
3、cn114714257a公开了一种靶材的喷砂方法，具体公开了喷砂方法包括如下步骤：(1)对靶材的非溅射面进行第一喷砂处理，得到第一喷砂面；(2)第一喷砂面表面覆盖保护层，进行第二喷砂处理，得到第二喷砂面；(3)升温去除第二喷砂面表面的保护层，保持温度进行压缩气体吹扫，得到具有干燥喷砂面的靶材；步骤(2)所述保护层的材质包括铟和/或锡。然而该方法并未涉及到喷砂后如何防止表面氧化的难题。
4、cn112959224a公开了一种靶材喷砂后防氧化的方法，具体公开了包括以下步骤：(1)将靶材的非溅射面进行喷砂处理，得到喷砂靶材；(2)将步骤(1)得到的喷砂靶材进行清洗，然后采用压缩气体进行吹扫干燥，得到具有干燥喷砂面的靶材。然而该方法难以对粗糙度较小的表面的孔隙之间隐藏的水分进行充分去除。
>技术实现思路1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法，能够将靶材表面残留的微量水分充分去除，尤其针对铜靶材，能够有效防止喷砂后靶材发生氧化的情况，应用前景广阔。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法，所述方法包括如下步骤：
4、(1)喷砂后靶材经清洗后，先在喷砂后靶材的表面设置一层密封层，所述密封层上具有可开关的抽气孔和通气孔，得到密封后靶材；
5、(2)打开抽气孔和通气孔，向所述通气孔中通入热气体，并从所述抽气孔中排出热气体，对所述密封后靶材进行第一干燥；
6、(3)关闭通气孔，从所述抽气孔持续抽真空并加热，进行第二干燥，得到防氧化后靶材。
7、相较于现有技术，本专利技术的核心构思如下：
8、a、首先通过在喷砂后靶材的表面设置一层密封层的效果，缩小表面流体的散热区域，保障通入的热气体更充分的将热量传递至靶材表面，且能够确保热气体的流动方向是从靶材的一侧流动至另一侧，显著提高靶材表面水分的去除速度；
9、b、在采用热气体流动吹扫的基础上，关闭通气孔，对抽气孔进行抽真空，并同时进行加热处理，从而使粗糙度较小的靶材的表面孔隙之间的液相在持续的真空条件下克服毛细管力，并在高温条件下气化，达到深度水分去除的目的，也就能够大大减少纯铜靶材后续氧化的情况，应用前景广阔。
10、优选地，步骤(1)中所述喷砂后靶材的表面粗糙度为2～5μm，例如可以是2μm、2.4μm、2.7μm、3μm、3.4μm、3.7μm、4μm、4.4μm、4.7μm或5μm等。
11、本专利技术提供的方法优选适用于表面粗糙度为2～5μm的靶材，这个粗糙度的靶材对水分的容纳程度更高，更难以去除，通过本专利技术提供的方法能够更好地去除这些水分，提高了靶材的抗氧化能力。
12、优选地，步骤(1)中所述喷砂后靶材的表面砂料包括白玉刚料。
13、优选地，所述白玉刚料的粒径范围为70～80目，例如可以是70目、72目、73目、74目、75目、76目、77目、78目、79目或80目等。
14、优选地，步骤(1)中所述清洗的清洗剂包括异丙醇、水和乙醇。
15、优选地，所述清洗剂中异丙醇的含量为10～15wt％，例如可以是10wt％、10.6wt％、11.2wt％、11.7wt％、12.3wt％、12.8wt％、13.4wt％、13.9wt％、14.5wt％或15wt％等。
16、优选地，所述清洗剂中乙醇的含量为5～15wt％，例如可以是5wt％、7wt％、8wt％、9wt％、10wt％、11wt％、12wt％、13wt％、14wt％或15wt％等。
17、优选地，步骤(1)中所述抽气孔与所述通气孔设置在所述喷砂后靶材的两侧位置。
18、本专利技术优选将抽气孔和通气孔设置在喷砂后靶材的两侧位置，从而在步骤(2)中能够更有效的保障气流在靶材的表面的充分流动。
19、优选地，所述通气孔设置有至少两个，并且设置在一侧的两端设置。
20、本专利技术进一步优选通气孔设置在不同的位置，从而能够在靶材的表面形成不同的气流，避免了干燥的死角，提高了防氧化效果。
21、优选地，所述密封层紧贴所述喷砂后靶材的表面设置。
22、本专利技术所述紧贴是指所述密封层的下表面与所述喷砂后靶材的喷砂表面接触设置。
23、优选地，为了防止密封层对喷砂后靶材的表面的损坏，所述密封层为软质层，且也能更好地起到密封效果。
24、优选地，步骤(1)中所述密封层除所述抽气孔与所述通气孔外，与所述喷砂后靶材的喷砂区域形成密闭空间。
25、优选地，步骤(2)中所述热气体包括氮气、氩气或氦气中的任意一种或至少两种的组合，其中典型但非限制性的组合为氮气和氩气的组合，氦气和氩气的组合，氮气和氦气的组合。
26、优选地，步骤(2)中所述热气体的温度为80～95℃，例如可以是80℃、82℃、84℃、85℃、87℃、89℃、90℃、92℃、94℃或95℃等。
27、优选地，所述热气体的通入压力为0.1～0.3mpa，例如可以是0.1mpa、0.13mpa、0.15mpa、0.17mpa、0.19mpa、0.22mpa、0.24mpa、0.26mpa、0.28mpa或0.3mpa等。
28、本专利技术进一步优选将热气体的通入压力控制在上述范围内，具有更优的干燥的效果，
29、优选地，步骤(2)中所述第一干燥的时长为2～5min，例如可以是2min、2.4min、2.7min、3min、3.4min、3.7min、4min、4.4min、4.7min或5min等。
30、优选地，步骤(3)中所述抽真空的持续时间为10～15min，例如可以是10min、10.6min、11.2min、11.7min、12.3min、12.8min、13.4min、13.9min、14.5min或15min等。
31、优选地，所述加热的温度为100～120℃，例如可以是100℃、103℃、105℃、107℃、109℃、112℃、114℃、116℃、118℃或120℃等。
32、本专利技术所述抽真空的持续时间(在真空度1.5～3kpa的条件下本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述喷砂后靶材的表面粗糙度为2～5μm。
3.根据权利要求1或2所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述喷砂后靶材的表面砂料包括白玉刚料；
4.根据权利要求1～3任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述清洗的清洗剂包括异丙醇、水和乙醇；
5.根据权利要求1～4任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述抽气孔与所述通气孔设置在所述喷砂后靶材的两侧位置；
6.根据权利要求1～5任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述密封层除所述抽气孔与所述通气孔外，与所述喷砂后靶材的喷砂区域形成密闭空间。
7.根据权利要求1～6任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(2)中所述热气体包括氮气、氩气或氦气中的任意一种或至少两种的组合。
8.根据权利要求1～7任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(2)中所述热气体的温度为80～95℃；
9.根据权利要求1～8任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(2)中所述第一干燥的时长为2～5min。
10.根据权利要求1～9任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(3)中所述抽真空的持续时间为10～15min；
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【技术特征摘要】
1.一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述喷砂后靶材的表面粗糙度为2～5μm。
3.根据权利要求1或2所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述喷砂后靶材的表面砂料包括白玉刚料；
4.根据权利要求1～3任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述清洗的清洗剂包括异丙醇、水和乙醇；
5.根据权利要求1～4任一项所述的靶材喷砂后防氧化的方法，其特征在于，步骤(1)中所述抽气孔与所述通气孔设置在所述喷砂后靶材的两侧位置；
6.根据权利要求1～5任一项所述的靶材喷砂后防...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，胡全，窦兴贤，王青松，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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