【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆搬运，具体是一种晶圆搬运横移机构。
技术介绍
1、在半导体制程中，需要在不同工位之间搬运转移晶圆，晶圆通常以晶圆盒承载，并通过oht(overhead hoist transfer)的方式转移；oht一般包括天轨和搬运小车，简称天车，天车上设置可伸缩和升降的抓取装置，天车沿着轨道移动，进而带动抓取装置来搬运转移晶圆。当前所有的oht天车的横移组件都是通过螺旋丝杆+同步带轮组成，同步带传动虽然质量更轻，且皮带在长时间工作后会出现磨损产生粉尘(oht工作环境是无尘洁净室)，磨损后传动精度大幅度下降。
技术实现思路
1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中晶圆盒的存储放置时存在的问题，提供了一种晶圆搬运横移机构，利用齿轮传动代替皮带传动，寿命更长几乎无需更换，传动准确平稳，能够承受更大的负载，而且齿轮传动不会产生粉尘污染晶圆。
2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆搬运横移机构，包括：
3、从上到下依次层叠的固定板、一级横移组件和二级横移组件；
4、使所述一级横移组件和所述二级横移组件移动的第一传动组件，所述第一传动组件包括：位于所述固定板的下表面的第一齿条，位于所述二级横移组件的上表面的第二齿条，贯穿一级横移组件与所述第一齿条和第二齿条啮合的第一齿轮；
5、与所述第一齿轮连接的驱动器。
6、在本技术的一个实施例中，还包括三级横移组件，所述三级横移组件位于所述二级横移组件的下方。
7、
8、在本技术的一个实施例中，第三齿条位于所述一级横移组件的相对两侧，所述第四齿条位于所述三级横移机构的相对两侧。
9、在本技术的一个实施例中，所述二级横移组件设有耳轴，所述第二齿轮穿设于所述耳轴上并与之转动连接。
10、在本技术的一个实施例中，所述一级横移组件开设有容纳所述第一齿轮的凹槽，所述凹槽位于所述第一齿轮一级横移组件的中心。
11、在本技术的一个实施例中，所述一级横移组件包括第一直线导轨和第一横移板，所述第一直线导轨位于所述第一横移板上并且与所述固定板相连，使所述第一横移板能够相对所述固定板移动。
12、在本技术的一个实施例中，所述二级横移组件包括第二横移板和第二直线导轨，所述第二直线导轨嵌入所述第二横移板中并且部分凸出所述第二横移板的上表面与所述一级横移组件连接。
13、在本技术的一个实施例中，所述三级横移组件包括第三横移板和第三直线导轨，所述第三直线导轨嵌入所述第三横移板中并且部分凸出所述第三横移板的上表面与所述二级横移组件连接。
14、在本技术的一个实施例中，所述驱动器位于所述一级横移组件的上表面。
15、本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
16、本技术所述的一种晶圆搬运横移机构，利用齿轮传动机构控制横移组件平稳横移出去，不仅能够满足晶圆搬运天车的横移距离要求，而且通过齿轮传动，寿命更长几乎无需更换，传动准确平稳，能够承受更大的负载，且在平移的过程中不会产生粉尘污染晶圆，也不会产生较大的噪音。
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1.一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：还包括三级横移组件，所述三级横移组件位于所述二级横移组件的下方。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：还包括使所述三级横移组件移动的第二传动组件，所述第二传动组件包括：与所述一级横移组件连接的第三齿条，与所述三级横移组件连接的第四齿条，与所述二级横移组件连接并与所述第三齿条和第四齿条啮合的第二齿轮。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：第三齿条位于所述一级横移组件的相对两侧，所述第四齿条位于所述三级横移组件的相对两侧。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述二级横移组件设有耳轴，所述第二齿轮穿设于所述耳轴上并与之转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述一级横移组件开设有容纳所述第一齿轮的凹槽，所述凹槽位于所述一级横移组件的中心。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述一级横移组件包括
8.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述二级横移组件包括第二横移板和第二直线导轨，所述第二直线导轨嵌入所述第二横移板中并且部分凸出所述第二横移板的上表面与所述一级横移组件连接。
9.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述三级横移组件包括第三横移板和第三直线导轨，所述第三直线导轨嵌入所述第三横移板中并且部分凸出所述第三横移板的上表面与所述二级横移组件连接。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述驱动器位于所述一级横移组件的上表面。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：还包括三级横移组件，所述三级横移组件位于所述二级横移组件的下方。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：还包括使所述三级横移组件移动的第二传动组件，所述第二传动组件包括：与所述一级横移组件连接的第三齿条，与所述三级横移组件连接的第四齿条，与所述二级横移组件连接并与所述第三齿条和第四齿条啮合的第二齿轮。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：第三齿条位于所述一级横移组件的相对两侧，所述第四齿条位于所述三级横移组件的相对两侧。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述二级横移组件设有耳轴，所述第二齿轮穿设于所述耳轴上并与之转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运横移机构，其特征在于：所述一级...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚威，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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