补液抽压装置、系统及湿法设备制造方法及图纸

本技术涉及补液技术领域，提供了一种补液抽压装置、系统及湿法设备。补液抽压装置包括控制器、感应器、急停阀和抽压模块，并且控制器分别与感应器、急停阀和抽压模块电连接，感应器和急停阀设置于补液管上且感应器按照补液管的液体流向位于急停阀的上游；感应器用于监测补液管中的气体信号；控制器用于在接收到感应器传输的气体信号时，控制急停阀关闭以使补液管断开，并控制抽压模块工作以抽取补液管中的气体。从而实现了在补液过程中监测到气体时自动抽取气体，无需手动排气或者进行换液，简化了操作，并且节约了溶液和降低了人力成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及补液，具体而言，涉及一种补液抽压装置、系统及湿法设备。

技术介绍

1、湿法设备是指在半导体制造过程中使用的设备，它使用化学溶液进行硅片的清洗、刻蚀、去胶等工艺步骤。在湿法设备补充溶液的过程中，补液管中会有空气导入，这样感应器检测不到液体就会报警，从而导致补液中断。针对这种情况，目前通常是操作人员手动排出空气，或者通过换液操作来排出液体并重新补液。但是这些方式的操作繁琐，并且会导致溶液浪费，人力成本高。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种补液抽压装置、系统及湿法设备，能够有效地解决补液过程中排气操作繁琐的问题。

2、本技术的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本技术提供一种补液抽压装置，包括控制器、感应器、急停阀和抽压模块，所述控制器分别与所述感应器、所述急停阀和所述抽压模块电连接，所述感应器和所述急停阀设置于补液管上且所述感应器按照所述补液管的液体流向位于所述急停阀的上游；

4、所述感应器用于监测所述补液管中的气体信号；

5、所述控制器用于在接本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种补液抽压装置，其特征在于，包括控制器、感应器、急停阀和抽压模块，所述控制器分别与所述感应器、所述急停阀和所述抽压模块电连接，所述感应器和所述急停阀设置于补液管上且所述感应器按照所述补液管的液体流向位于所述急停阀的上游；

2.根据权利要求1所述的补液抽压装置，其特征在于，所述控制器还用于在接收到所述感应器传输的液体信号时，控制所述急停阀开启以使所述补液管导通。

3.根据权利要求1所述的补液抽压装置，其特征在于，所述补液抽压装置还包括与所述控制器电连接的三通阀，所述三通阀设置于所述补液管上且所述三通阀按照所述补液管的液体流向位于所述感应器的上游；

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【技术特征摘要】

1.一种补液抽压装置，其特征在于，包括控制器、感应器、急停阀和抽压模块，所述控制器分别与所述感应器、所述急停阀和所述抽压模块电连接，所述感应器和所述急停阀设置于补液管上且所述感应器按照所述补液管的液体流向位于所述急停阀的上游；

2.根据权利要求1所述的补液抽压装置，其特征在于，所述控制器还用于在接收到所述感应器传输的液体信号时，控制所述急停阀开启以使所述补液管导通。

3.根据权利要求1所述的补液抽压装置，其特征在于，所述补液抽压装置还包括与所述控制器电连接的三通阀，所述三通阀设置于所述补液管上且所述三通阀按照所述补液管的液体流向位于所述感应器的上游；

4.根据权利要求3所述的补液抽压装置，其特征在于，所述控制器还用于在接收到所述感应器传输的液体信号时，控制所述旁通端口关闭以及所述输入端口与所述输出端口连通，以使所述输出端口与所述急停阀之间的补液管段与所述抽压模块断开。

5.根据权利要求1所述的补液抽压装置，其特征在于，所述补液抽压装置还包括与所述控制器电连接的补...

【专利技术属性】
技术研发人员：郁明亚，曹忱根，唐青青，何路长，
申请(专利权)人：捷捷微电南通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：