一种可调谐激光器运转模式稳定性测试系统与方法技术方案

本发明专利技术提供了一种可调谐激光器运转模式稳定性测试系统与方法，使用可调谐激光器、波长识别模块、光电转换模块以及采集与显示模块组成测试系统，通过计算预设离散电脉冲数与采集离散电脉冲数是否相等以及波长触发差在预设区间内的占比情况测试可调谐激光器运转模式稳定性，显著降低了测量难度，解决了仪器性能评价复杂的问题，且与常规的标准偏差方法相比，不但提高了测量精度，还极大降低了测试过程中的数据获取量和数据处理量，能够更直观准确的反映仪器的跳模和触发精度特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及可调谐激光器测试，提供一种可调谐激光器运转模式稳定性测试系统与方法

技术介绍

1、伴随着硅光子芯片和硅光模块在800g、1.6t时代不断扩大的商业趋势，低成本、高效率的生产、检测方式是产业界孜孜追求的目标，这就要求尽可能在前道工序实现晶圆合格与否的判断，进而实现精准测试以提升出品良率、降低成本。这需要对可调谐激光器运转模式的稳定性和扫描精度等参数进行快速测试。

2、针对晶圆片上包括波导在内的整个微光学结构的波长相关光插损值参数测试需求，目前现有的测试方法，如点测法、宽带光源+光谱分析仪测试法以及可调谐激光器+波长计测试等方法均存在局限，要么只能产生“若干点”的波长相关光插损光谱特性，要么动态范围不足，要么引入波长计等辅助测试设备导致测试成本增加。虽然，由可调谐激光器+多通道高速光功率计组成的波长快速扫描系统能够解决上述问题，但对其核心测试仪器可调谐激光器运转稳定性的快捷表征尚无有效方法。

3、运转模式稳定性是衡量可调谐激光器跳模特性和扫描精度的重要指标，该指标甚至会影响可调谐激光器的功率重复性与稳定性。运转模式稳定性与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可调谐激光器运转模式稳定性测试系统，其特征在于，包括：

2.一种可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于，采用如权利要求1所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试系统，

3.根据权利要求2所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于：所述预设离散电脉冲数的计算公式为，

4.根据权利要求2所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于：计算相邻离散数据中的波长触发时的时间差，得到N个时间相关数据分布值，N=J-1；

5.根据权利要求2所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于：波长触发差的计算公式为，

...

【技术特征摘要】

1.一种可调谐激光器运转模式稳定性测试系统，其特征在于，包括：

2.一种可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于，采用如权利要求1所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试系统，

3.根据权利要求2所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于：所述预设离散电脉冲数的计算公式为，

4.根据权利要求2所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于：计算相邻离散数据中的波长触发时的时间差，得到n个时间相关数据分布值，n=j-1；

5.根据权利要求2所述的可调谐激光器运转模式稳定性测试方法，其特征在于：波长触发差的计算公式为，

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛立文，黄琳，乔山，刘志明，韦育，郑策，刘加庆，韩纪磊，
申请(专利权)人：中电科思仪科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：