一种小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺，包括预留孔内注银和表面喷银；所述预留孔内注银包括：向器件的预留孔内注银，使预留孔内表面被银浆覆盖；所述表面喷银包括：预留孔内注银完成后，对器件外表面喷银。本发明专利技术采用了注银与喷银结合的工艺方式，可有效保证孔内表面完全涂覆且整体厚度均匀、可控；且本发明专利技术制备工艺简单、重现性好、成本低、性能优、适用广泛。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺。

技术介绍

1、小型化ltcc波导滤波器是通过低温共烧陶瓷（ltcc）三维集成技术实现高集成度的滤波器件。而由于材料的性质，器件表面没有良好的导电性和耐腐蚀性，因此需要在其表面加上一层金属，以实现器件与外部电路的连接。故金属化是连接器件与外部电路的必要手段，器件的外部连接必须通过金属化的方式来实现。另外，金属化还可以提高器件的电性能和可靠性，同时对加强器件在高温和湿度等恶劣环境下的可靠性也有意义。

2、目前介质波导金属化可采用印刷、注银、喷银、浸银等工艺。其中，印刷工艺需要求器件表面平整，且难以对预留孔内进行涂覆；而浸银工艺又难以控制器件表面的银层厚度。故需要对小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺进行优化设计。

技术实现思路

1、为解决现有技术的缺陷，本专利技术提供一种小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺，包括预留孔内注银和表面喷银；

2、所述预留孔内注银，包括：向器件的预留孔内注银，使预留孔内表面被银浆覆盖；

3、所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，包括预留孔内注银和表面喷银；

2.根据权利要求1所述的小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述预留孔内注银步骤中，用点胶机向器件的预留孔内注银。

3.根据权利要求1所述的小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述表面喷银步骤中，用金属喷射枪对器件外表面喷银。

4.根据权利要求3所述的小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述表面喷银步骤中，对器件的六个面轮流喷银。

5.根据权利要求3所述的小型化LTCC波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述表面...

【技术特征摘要】

1.一种小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，包括预留孔内注银和表面喷银；

2.根据权利要求1所述的小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述预留孔内注银步骤中，用点胶机向器件的预留孔内注银。

3.根据权利要求1所述的小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述表面喷银步骤中，用金属喷射枪对器件外表面喷银。

4.根据权利要求3所述的小型化ltcc波导滤波器的金属化工艺，其特征在于，所述表面喷银步骤中，对器件的六个面轮流喷银。

5.根据权利要求3所述的小...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡兵，钱喆，
申请(专利权)人：苏州希拉米科电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：