一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片制造技术

本发明专利技术公开了一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片，包括呈周期排布的多个方形的滤波单元，每个滤波单元包括损耗吸收薄膜、中间介质层和无损透射薄膜，中间介质层采用二氧化硅介质衬底，损耗吸收薄膜为十字形金属谐振器，其四条金属臂上分别加载有一片石墨烯片、四端分别一体设置有一个秃宝盖字型金属图形结构，无损透射薄膜包括四片正方形金属片，每片正方形金属片的外围等间距环绕有一个第一方形金属环，四个第一方形金属环的外围等间距环绕有一个第二方形金属环。该滤波片在0.47~1.74THz超宽频带内实现阻抗匹配，其中0.33THz~1.16 THz实现宽带信号低损耗传输，相对透射带宽为111.4%，最小插入损耗为0.89dB，滤波片同时在1.37~1.77 THz实现带外吸收。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学元器件，具体涉及一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片。

技术介绍

1、太赫兹(terahertz，thz)因其具有波长短、穿透力强、非破坏性等特点，在成像、安检安防、电子对抗等方面已有初步应用。在通信领域，由于太赫兹具有高带宽和高速率的特点，基于太赫兹通信的6g系统为未来海量数据传输和高速无线通信提供了重要的解决方案。随着光学微纳技术的飞速发展，太赫兹系统中高集成度与多功能化的矛盾日益突出，光学电磁环境日益错综复杂，通信系统对电磁兼容的要求越来越高。带通滤波片作为太赫兹系统中重要的光学元器件，能够有选择性的传递指定频率的信号，抑制噪声。然而传统带通滤波片设计中，带外信号往往只是通过增强反射来实现剔除，这部分反射的杂散信号依旧会影响其它设备，急剧恶化宽带通信系统技术指标。如何提高带内工作频带的带宽，同时真正意义上的抑制带外干扰信号，从而提升太赫兹光学器件的集成度和稳定性具有重要的意义。

2、在微波频段，选择性雷达吸波器(frequency selective rasorber，fsr)可以被视为一种吸收性滤波结构，由于其具备带内传本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片，其特征在于，包括呈周期排布的多个方形的滤波单元，每个所述的滤波单元包括损耗吸收薄膜、中间介质层和无损透射薄膜，所述的损耗吸收薄膜和所述的无损透射薄膜分别附着在所述的中间介质层的正面和背面，所述的中间介质层采用二氧化硅介质衬底，所述的损耗吸收薄膜为十字形金属谐振器，所述的十字形金属谐振器的四条金属臂上分别加载有一片石墨烯片，所述的十字形金属谐振器的四端分别一体设置有一个秃宝盖字型金属图形结构，每个所述的秃宝盖字型金属图形结构的开口朝向所述的十字形金属谐振器的中心，所述的无损透射薄膜包括四片正方形金属片，所述的四片正方形金属片呈田字形均匀分布在所述的中间介...

【技术特征摘要】

1.一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片，其特征在于，包括呈周期排布的多个方形的滤波单元，每个所述的滤波单元包括损耗吸收薄膜、中间介质层和无损透射薄膜，所述的损耗吸收薄膜和所述的无损透射薄膜分别附着在所述的中间介质层的正面和背面，所述的中间介质层采用二氧化硅介质衬底，所述的损耗吸收薄膜为十字形金属谐振器，所述的十字形金属谐振器的四条金属臂上分别加载有一片石墨烯片，所述的十字形金属谐振器的四端分别一体设置有一个秃宝盖字型金属图形结构，每个所述的秃宝盖字型金属图形结构的开口朝向所述的十字形金属谐振器的中心，所述的无损透射薄膜包括四片正方形金属片，所述的四片正方形金属片呈田字形均匀分布在所述的中间介质层的四个方位，每片所述的正方形金属片的外围等间距环绕有一个第一方形金属环，四个所述的第一方形金属环之间相互间隔设置，四个所述的第一方形金属环的外围等间距环绕有一个第二方形金属环。

2.根据权利要求1所述的一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片，其特征在于，所述的第二方形金属环的外边缘的边长与一个所述的滤波单元的周期边长相同。

3.根据权利要求2所述的一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片，其特征在于，所述的十字形金属谐振器为中心对称的图形结构，所述的十字形金属谐振器的中心一体设置有方形金属图形结构，所述的方形金属图形结构的中部刻蚀有中心对称的十字形镂空图形。

4. 根据权利要求3所述的一种吸收性宽带带通太赫兹滤波片，其特征在于，每个所述的滤波单元的周期边长p1=40~43 μm；每个所述的滤波单元中，所述的中间介质层的厚度h1=50~60 μm，所述的损耗吸收薄膜的厚度h2与所述的无损透射薄膜的厚度h3相同且h2=h...

【专利技术属性】
技术研发人员：李敏华，石超，董建峰，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：