一种光刻胶组合物及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种光刻胶组合物及其制备方法，属于光刻胶技术领域，包括以下步骤：将丙烯酸酯混合单体、去离子水、十二烷基硫酸钠和异构十三醇乙氧基化物的混合物、NaHCO<subgt;3</subgt;溶液、过氧化二苯甲酰溶液混合均匀后，搅拌反应，将丙烯酸六氟丁酯单体和过氧化二苯甲酰溶液缓慢滴入后，冷却，制得含氟丙烯酸酯乳液；将聚乙二醇、甲苯二异氰酸酯和N，N‑二甲基甲酰胺混合均匀，加热搅拌，加入柠檬酸搅拌反应，制得生物基聚氨酯低聚物；将含氟丙烯酸酯乳液、生物基聚氨酯低聚物、氟化镁/核黄素复合物、活性稀释剂混合均匀，制得光刻胶组合物。本发明专利技术能够提高光刻胶碱蚀刻耐久性和疏水性的同时实现生物基光引发剂紫外光固化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻胶，具体涉及一种光刻胶组合物及其制备方法。

技术介绍

1、光刻胶（又称光致抗蚀剂）是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料。光刻胶是由树脂、感光剂、溶剂和添加剂等材料组成的对光敏感的混合液体，具有在光照作用下发生交联固化或降解反应的特性，其表面具有抗蚀刻的能力，在光刻过程中需要起到抗蚀刻的保护作用，因此应用于金属蚀刻领域。

2、公告号为cn102653581b的专利文件提供一种碱可溶性树脂及其制作方法、感光性树脂组合物、光刻胶，在碱可溶性树脂的分子结构中包含有酚醛环氧丙烯酸酯结构实现在显影时不会有耐热树脂残留，并且在图案化工艺后，环氧丙烯酸酯基团与羧基发生反应，从而增加光敏树脂的热稳定性。但当现有技术中的光刻胶接触到碱性金属蚀刻液时，碱性金属蚀刻液与光刻胶中的碱溶性树脂发生降解反应，导致光刻胶薄膜被蚀刻液剥离。因此，对于需要进行碱性蚀刻处理的金属基板（如铝基板），这种光刻胶无法提供有效的保护。这种光刻胶虽具备较好的耐酸性，但由于其对碱性环境的耐受性差，限制了其在相关应用中的适用性。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中的丙烯酸酯混合单体为丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸羟乙酯和甲基丙烯酸的混合物，其中，丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸羟乙酯和甲基丙烯酸的质量份数比为1：1：1：1；所述十二烷基硫酸钠的质量份数和异构十三醇乙氧基化物的体积份数之比为1：1，NaHCO3溶液的质量浓度为0.25%，过氧化二苯甲酰溶液的质量浓度为10%。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中在75~80℃下以30...

【技术特征摘要】

1.一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤s1中的丙烯酸酯混合单体为丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸羟乙酯和甲基丙烯酸的混合物，其中，丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸羟乙酯和甲基丙烯酸的质量份数比为1：1：1：1；所述十二烷基硫酸钠的质量份数和异构十三醇乙氧基化物的体积份数之比为1：1，nahco3溶液的质量浓度为0.25%，过氧化二苯甲酰溶液的质量浓度为10%。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤s1中在75~80℃下以300r/min的搅拌速度搅拌反应2~3h，将丙烯酸六氟丁酯单体和过氧化二苯甲酰溶液在3h内搅拌状态下缓慢滴入混合体系中，冷却至20~35℃，加入体积浓度为3%的2-氨基-2-甲基-1-丙醇溶液中和ph至7.0~8.0，制得含氟丙烯酸酯乳液。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中还加入了蓖麻油与聚乙二醇、甲苯二异氰酸酯和n，n-二甲基甲酰胺混合均匀，并在55~65℃下加热搅拌5~7h。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中加入柠檬酸搅拌反应3~5h后，还加入葡萄糖搅拌反应2~4h，最终制得生物基聚氨酯低聚物。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述步骤s3中氟化镁/核黄素复合物由核黄素悬浮液与氟化镁悬浮液混合后，加入3-氨丙基三乙氧基硅烷，搅拌混匀，加入醋酸溶液调节ph值至4.0~5.0后，在40~50℃下...

【专利技术属性】
技术研发人员：张彦军，翁飞，杨波，冯中铎，张建华，
申请(专利权)人：陕西绿元生物医药有限公司，
类型：发明
国别省市：