【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学，尤其涉及一种调节装置及光学设备。
技术介绍
1、目前，晶圆表面缺陷检测常用的技术手段是光学检测技术，其具有检测速度快、无污染等优点。
2、相关技术中，光学检测设备一般包括激光器、调节装置与光探测器，其中激光器为待检测晶圆提供检测光束，检测光束经待测晶圆表面的缺陷形成信号光，调节装置收集到信号光，并导向至光探测器，光探测器在接收到信号光后检测信号光，并根据信号光获取待测晶圆表面的缺陷信息，因此，保证光探测器精准地获取调节装置传出的信号光尤为重要。
3、其中，调节装置包括安装架与镜组，镜组装配设置于安装架。然而，目前市场上的安装架在应用于镜组时，镜组的装配位置较差，导致工作人员需要投入较长的时间对镜组进行位置以及角度的调节，工作人员的工作强度较高。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出了一种调节装置及光学设备，便于快速地对镜组进行调节。
2、第一方面，本申请实施例提供了调节装置，包括：
3、安装结构，所述安装结构与镜组连接，所述镜组用于传输信号光；
4、第一转动组件，用于绕第一轴线转动调节所述镜组的朝向；
5、第二转动组件，用于绕第二轴线转动调节所述镜组的朝向；
6、其中，所述第一轴线与所述第二轴线垂直设置，所述第一轴线与所述第二轴线至少其中之一与所述镜组的的像方主面相重合。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述第一轴
8、根据本专利技术的一些实施例，所述调节装置还包括设置于所述第一转动组件的第一调节组件，所述第一转动组件用于绕所述第一轴线转动调节所述第一调节组件，所述第一调节组件用于沿所述第一轴线所在方向调节所述第二转动组件，所述安装结构设置于所述第二转动组件。
9、根据本专利技术的一些实施例，所述第一调节组件包括第一框架与第一调节结构，其中，所述第一转动组件设置有沿第一轴线延伸设置的导向结构，所述第一框架沿第一轴线所在方向滑动设置于所述导向结构，所述第一调节结构设置于所述导向结构和/或所述第一框架，用于沿第一轴线所在方向调节所述第一框架，所述第二转动组件设置于所述第一框架。
10、根据本专利技术的一些实施例，所述第一调节结构包括盖板、第一拉簧与第一螺纹副，其中，所述盖板固定连接于所述导向结构的顶部，所述第一螺纹副沿第一轴线所在方向设置于所述盖板与所述第一框架其中之一，并朝向另一者设置，所述第一拉簧与所述盖板以及所述第一框架相连接，用于使另一者与所述第一螺纹副保持相抵持。
11、根据本专利技术的一些实施例，所述第一调节结构还包括锁紧板，所述锁紧板与所述第一框架与所述导向结构相连接，所述锁紧板靠近另一者的部分沿第一轴线所在方向设置有锁紧腰型孔，所述锁紧腰型孔穿设设置有连接于另一者的锁紧螺钉。
12、根据本专利技术的一些实施例，所述导向结构包括沿第一轴线所在方向设置的两个导向柱，两个所述导向柱的对侧部均沿其延伸方向设置有导向部，所述第一框架设置有配合部；其中，所述导向部与所述配合部其中之一为导向槽，另一者为滑动设置于所述导向槽的导向凸起。
13、根据本专利技术的一些实施例，所述第二转动组件包括第二框架与第二调节结构，所述安装结构设置于所述第二框架，所述第二框架转动设置于所述第一框架，两者之间的转动轴与所述安装结构连接的所述镜组的像方主面相重合，所述第二调节结构设置于所述第一框架和/或所述第二框架，用于转动调节所述第二框架；其中，所述第二轴线为所述转动轴的中心轴。
14、根据本专利技术的一些实施例，所述第二调节结构包括第二螺纹副和第二拉簧，其中，所述第二螺纹副设置于所述第一框架和/或所述第二框架，并朝向另一者设置，所述第二拉簧与所述第一框架以及所述第二框架相连接，用于使另一者与所述第二螺纹副保持相抵持。
15、根据本专利技术的一些实施例，所述第一框架的内侧限定有容置空间，所述第一框架远离所述导向结构的侧部开设有贯穿所述第一框架内外侧的定位通槽，所述第一框架远离所述导向结构的边缘设置有第一凸耳；
16、所述第二框架的内侧限定有安装空间，所述第二框架的边沿设置有定位凸台，所述第二框架的边缘设置有第二凸耳；
17、其中，所述第二框架设置于所述容置空间，所述定位凸台嵌设于所述定位通槽，所述第二螺纹副设置于所述定位凸台，并在所述第二拉簧的作用下与定位通槽的槽壁相抵持，所述第一凸耳与所述第二凸耳相重叠，并通过转动轴转动连接，所述安装结构装配于所述安装空间。
18、根据本专利技术的一些实施例，所述第二凸耳绕所述转动轴设置有圆弧孔，所述圆弧孔穿设设置有与所述第一凸耳螺纹连接的锁紧螺钉。
19、根据本专利技术的一些实施例，所述第一转动组件包括第一载台、第二载台与第三调节结构，其中，所述第一载台上设置有固定轴，所述固定轴与所述第二轴线共线；所述第三调节结构与所述第一载台和/或第二载台相连接，用于绕所述固定轴转动调节所述第二载台，所述第一转动组件设置于所述第二载台。
20、根据本专利技术的一些实施例，所述第三调节结构包括两个第三螺纹副，两个所述第三螺纹副相对设置于所述第一载台与所述第二载台其中之一的边缘，另一者设置有抵持于两个所述第三螺纹副之间的第一调节凸台；其中，所述第二载台绕所述固定轴开设有第二腰型孔，所述第二腰型孔穿设设置有与所述第一载台螺纹连接的锁紧螺钉。
21、根据本专利技术的一些实施例，所述调节装置还包括第二调节组件，所述第二调节组件包括第一滑台、第二滑台、第四调节结构与第五调节结构，其中，所述第二滑台滑动设置于所述第一滑台，所述第一载台滑动设置于所述第二滑台，且所述第一载台与所述第二滑台至少其中之一沿所述第二轴线滑动设置，另一者沿第三轴线滑动设置，所述第三轴线与所述第一轴线以及所述第二轴线垂直设置；其中，所述第四调节结构设置于所述第一滑台和/或所述第二滑台，以直线调节所述第二滑台，所述第五调节结构设置于所述第二滑台和/或所述第一载台，以直线调节所述第一载台。
22、根据本专利技术的一些实施例，所述第四调节结构包括两个第四螺纹副，两个所述第四螺纹副相对设置于所述第一滑台与所述第二滑台其中之一的边沿，另一者设置有抵持于两个所述第四螺纹副之间的第二调节凸台，其中，所述第二滑台沿其滑动方向开设有第四腰型孔，所述第四腰型孔穿设设置有与所述第一滑台螺纹连接的锁紧螺钉。
23、根据本专利技术的一些实施例，所述第二滑台上至少设置有两个导向销，所述第一载台在滑动方向的两边沿位置，均开设有导向开口槽，两个所述导向销分别滑动设置于所述导向开口槽，以使所述第二滑台在设定范围内滑动。
24、根据本专利技术的一些实施例，所述第五调节结构包括第一螺钉与第二螺钉，其中，所述第二滑台的边缘设置有延伸至所述第一载台的边沿位置的安装凸台，所述第一螺钉螺纹连接于所述安装凸台，并与所述第一载台的边沿相抵持，所述第二螺钉沿其轴向滑本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一轴线与所述第二轴线均与所述镜组的像方主面相重合。
3.根据权利要求1至2中任意一项所述的调节装置，其特征在于，所述调节装置还包括设置于所述第一转动组件的第一调节组件，所述第一转动组件用于绕所述第一轴线转动调节所述第一调节组件，所述第一调节组件用于沿所述第一轴线所在方向调节所述第二转动组件，所述安装结构设置于所述第二转动组件。
4.根据权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节组件包括第一框架与第一调节结构，其中，所述第一转动组件设置有沿第一轴线延伸设置的导向结构，所述第一框架沿第一轴线所在方向滑动设置于所述导向结构，所述第一调节结构设置于所述导向结构和/或所述第一框架，用于沿第一轴线所在方向调节所述第一框架，所述第二转动组件设置于所述第一框架。
5.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节结构包括盖板、第一拉簧与第一螺纹副，其中，所述盖板固定连接于所述导向结构的顶部，所述第一螺纹副沿第一轴线所在方向设置于所述盖板与所述第
6.根据权利要求4-5任一项所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节结构还包括锁紧板，所述锁紧板与所述第一框架与所述导向结构相连接，所述锁紧板靠近另一者的部分沿第一轴线所在方向设置有锁紧腰型孔，所述锁紧腰型孔穿设设置有连接于另一者的锁紧螺钉。
7.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述导向结构包括沿第一轴线所在方向设置的两个导向柱，两个所述导向柱的对侧部均沿其延伸方向设置有导向部，所述第一框架设置有配合部；其中，所述导向部与所述配合部其中之一为导向槽，另一者为滑动设置于所述导向槽的导向凸起。
8.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述第二转动组件包括第二框架与第二调节结构，所述安装结构设置于所述第二框架，所述第二框架转动设置于所述第一框架，两者之间的转动轴与所述安装结构连接的所述镜组的像方主面相重合，所述第二调节结构设置于所述第一框架和/或所述第二框架，用于转动调节所述第二框架；其中，所述第二轴线为所述转动轴的中心轴。
9.根据权利要求8所述的调节装置，其特征在于，所述第二调节结构包括第二螺纹副和第二拉簧，其中，所述第二螺纹副设置于所述第一框架和/或所述第二框架，并朝向另一者设置，所述第二拉簧与所述第一框架以及所述第二框架相连接，用于使另一者与所述第二螺纹副保持相抵持。
10.根据权利要求9所述的调节装置，其特征在于，所述第一框架的内侧限定有容置空间，所述第一框架远离所述导向结构的侧部开设有贯穿所述第一框架内外侧的定位通槽，所述第一框架远离所述导向结构的边缘设置有第一凸耳；
11.根据权利要求10所述的调节装置，其特征在于，所述第二凸耳绕所述转动轴设置有圆弧孔，所述圆弧孔穿设设置有与所述第一凸耳螺纹连接的锁紧螺钉。
12.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一转动组件包括第一载台、第二载台与第三调节结构，其中，所述第一载台上设置有固定轴，所述固定轴与所述第二轴线共线；所述第三调节结构与所述第一载台和/或第二载台相连接，用于绕所述固定轴转动调节所述第二载台，所述第一转动组件设置于所述第二载台。
13.根据权利要求12所述的调节装置，其特征在于，所述第三调节结构包括两个第三螺纹副，两个所述第三螺纹副相对设置于所述第一载台与所述第二载台其中之一的边缘，另一者设置有抵持于两个所述第三螺纹副之间的第一调节凸台；其中，所述第二载台绕所述固定轴开设有第二腰型孔，所述第二腰型孔穿设设置有与所述第一载台螺纹连接的锁紧螺钉。
14.根据权利要求12所述的调节装置，其特征在于，所述调节装置还包括第二调节组件，所述第二调节组件包括第一滑台、第二滑台、第四调节结构与第五调节结构，其中，所述第二滑台滑动设置于所述第一滑台，所述第一载台滑动设置于所述第二滑台，且所述第一载台与所述第二滑台至少其中之一沿所述第二轴线滑动设置，另一者沿第三轴线滑动设置，所述第三轴线与所述第一轴线以及所述第二轴线垂直设置；其中，所述第四调节结构设置于所述第一滑台和/或所述第二滑台，以直线调节所述第二滑台，所述第五调节结构设置于所述第二滑台和/或所述第一载台，以直线调节所述第一载台。
15.根据权利要求14所述的调节装置，其特征在于，所述第四调节结构包括两个第四螺纹副，两个所述第四螺纹副相对设置于所述第一滑台与所述第二滑台其中之一的边沿...
【技术特征摘要】
1.一种调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述第一轴线与所述第二轴线均与所述镜组的像方主面相重合。
3.根据权利要求1至2中任意一项所述的调节装置，其特征在于，所述调节装置还包括设置于所述第一转动组件的第一调节组件，所述第一转动组件用于绕所述第一轴线转动调节所述第一调节组件，所述第一调节组件用于沿所述第一轴线所在方向调节所述第二转动组件，所述安装结构设置于所述第二转动组件。
4.根据权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节组件包括第一框架与第一调节结构，其中，所述第一转动组件设置有沿第一轴线延伸设置的导向结构，所述第一框架沿第一轴线所在方向滑动设置于所述导向结构，所述第一调节结构设置于所述导向结构和/或所述第一框架，用于沿第一轴线所在方向调节所述第一框架，所述第二转动组件设置于所述第一框架。
5.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节结构包括盖板、第一拉簧与第一螺纹副，其中，所述盖板固定连接于所述导向结构的顶部，所述第一螺纹副沿第一轴线所在方向设置于所述盖板与所述第一框架其中之一，并朝向另一者设置，所述第一拉簧与所述盖板以及所述第一框架相连接，用于使另一者与所述第一螺纹副保持相抵持。
6.根据权利要求4-5任一项所述的调节装置，其特征在于，所述第一调节结构还包括锁紧板，所述锁紧板与所述第一框架与所述导向结构相连接，所述锁紧板靠近另一者的部分沿第一轴线所在方向设置有锁紧腰型孔，所述锁紧腰型孔穿设设置有连接于另一者的锁紧螺钉。
7.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述导向结构包括沿第一轴线所在方向设置的两个导向柱，两个所述导向柱的对侧部均沿其延伸方向设置有导向部，所述第一框架设置有配合部；其中，所述导向部与所述配合部其中之一为导向槽，另一者为滑动设置于所述导向槽的导向凸起。
8.根据权利要求4所述的调节装置，其特征在于，所述第二转动组件包括第二框架与第二调节结构，所述安装结构设置于所述第二框架，所述第二框架转动设置于所述第一框架，两者之间的转动轴与所述安装结构连接的所述镜组的像方主面相重合，所述第二调节结构设置于所述第一框架和/或所述第二框架，用于转动调节所述第二框架；其中，所述第二轴线为所述转动轴的中心轴。
9.根据权利要求8所述的调节装置，其特征在于，所述第二调节结构包括第二螺纹副和第二拉簧，其中，所述第二螺纹副设置于所述第一框架和/或所述第二框架，并朝向另一者设置，所述第二拉簧与所述第一框架以及所述第二框架相连接，用于使另一者与所述第二螺纹副保持相抵持。
10.根据权利要求9所述的调节装置，其特征在于，所述第一框架的内侧限定有容置空间，所述第一框架远离...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，高志民，何泊衢，马砚忠，杨长英，王南朔，张嵩，
申请(专利权)人：上海中科飞测半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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