【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电镀液喷淋领域,尤指气动阀及电镀设备。
技术介绍
1、常规的电镀设备内,控制电解液喷淋的阀门是气动隔膜阀,这种气动隔膜阀,如专利号202210087145.4名称为一种化学气动隔膜阀,虽然,这种隔膜阀已经阐述了化学介质是只与阀体和阀芯接触,但是,活塞在上下移动时,难免会出现少量的化学液体从缝隙中渗入到弹簧上,化学液体具有腐蚀性,会腐蚀弹簧,最终会影响对化学液的截断。
技术实现思路
1、为解决上述问题,本技术提供气动阀及电镀设备,采用新的物理结构替换了弹簧,由此解决弹簧受到腐蚀而导致截流效果受到影响的问题。
2、为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:
3、一种气动阀,其特征在于,本体内的液体流道至少有一部分是引导化学液流动方向变化的迂回段,本体内还设有与迂回段相对的柔性构件,及挤压柔性构件发生形变的执行部,所述柔性构件在执行部的压迫下,通过形变隔断了迂回段中的化学液。
4、进一步地,所述迂回段为本体内位于同一侧的第一液体流道、第二液体流道与柔性
...【技术保护点】
1.一种气动阀,其特征在于,本体内的液体流道至少有一部分是引导化学液流动方向变化的迂回段,本体内还设有与迂回段相对的柔性构件,及挤压柔性构件发生形变的执行部,所述柔性构件在执行部的压迫下,通过形变隔断了迂回段中的化学液。
2.根据权利要求1所述的一种气动阀,其特征在于,所述迂回段为本体内位于同一侧的第一液体流道、第二液体流道与柔性构件在未有形变变化的状态下具有间隙而成。
3.根据权利要求2所述的一种气动阀,其特征在于,本体的内部具有注液槽和设置在注液槽内的导流道,柔性构件覆盖在注液槽上,导流道与柔性构件之间具有间隙,注液槽与导流道之间的空间为第
...【技术特征摘要】
1.一种气动阀,其特征在于,本体内的液体流道至少有一部分是引导化学液流动方向变化的迂回段,本体内还设有与迂回段相对的柔性构件,及挤压柔性构件发生形变的执行部,所述柔性构件在执行部的压迫下,通过形变隔断了迂回段中的化学液。
2.根据权利要求1所述的一种气动阀,其特征在于,所述迂回段为本体内位于同一侧的第一液体流道、第二液体流道与柔性构件在未有形变变化的状态下具有间隙而成。
3.根据权利要求2所述的一种气动阀,其特征在于,本体的内部具有注液槽和设置在注液槽内的导流道,柔性构件覆盖在注液槽上,导流道与柔性构件之间具有间隙,注液槽与导流道之间的空间为第一液体流道,导流道的内部为第二液体流道。
4.根据权利要求3所述的一种气动阀,其特征在于,柔性构件的隔断是柔性构件通过形变而紧贴在导流道端部的边沿上。
5.根据权利要求1所述的一种气动阀,其特征在于,执行端...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢南海,周丹,
申请(专利权)人:广东达源设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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