一种抛光机盘面的变形补正调整装置及方法制造方法及图纸

一种抛光机盘面的变形补正调整装置及方法，所述装置包括下盘托盘、下盘、调整盘、调整托盘、调整托盘固定盘，其下盘托盘、下盘、调整盘、调整托盘、调整托盘固定盘从下至上依次安装，所述调整托盘固定盘上设置多个调整气缸，所述调整气缸上具有气缸连接杆，所述气缸连接杆固定安装在所述调整气缸的活动端，所述气缸连接杆穿过所述调整托盘与所述调整盘固定连接；所述下盘朝向所述调整盘的表面设置有多个距离传感器，所述距离传感器用来检测所述下盘和所述调整盘之间的间距，本发明专利技术的所述方法使得调整盘的对应需要修正的位置产生形变位移，从而动态补正盘面的不同形变，使得平面度更高，减小对工件磨削平面度误差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抛光机的盘面调整，尤其是涉及一种抛光机盘面的变形补正调整装置及方法。

技术介绍

1、目前，市场上的抛光机大多采用的都是磨削的方式。而在磨削抛光过程中，由于上盘与工件的摩擦生热导致的热效应，进而导致上盘盘面的变形。由于工件加工的工艺要求较高，热效应引起的变形会使盘面的两边相对中间往上凹或向下凸，从而影响加工工件的平面度、面型精度(ttv)等产品精度；

2、因此，亟需一种能够克服打磨和/或抛光过程中盘面热效应所引起的盘面变形的补正装置以确保工件打磨和/或抛光过程中的精度。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是，克服现有技术存在的由于热效应容易引起盘面的变形，使工件的加工精度受影响的缺陷，提供一种抛光机盘面的变形补正调整装置。

2、本专利技术解决其技术问题采用的技术方案是，本专利技术提供一种抛光机盘面的变形补正调整装置，所述变形补正调整装置包括下盘托盘、下盘、调整盘、调整托盘、调整托盘固定盘，其所述下盘托盘、下盘、调整盘、调整托盘、调整托盘固定盘竖直方向上从下至上依次本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种抛光机盘面的变形补正调整装置，所述变形补正调整装置包括下盘托盘(1.6)、下盘(1.7)、调整盘(1.1)、调整托盘(1.2)、调整托盘固定盘(1.4)，其特征在于，所述下盘托盘(1.6)、下盘(1.7)、调整盘(1.1)、调整托盘(1.2)、调整托盘固定盘(1.4)竖直方向上从下至上依次安装，所述调整托盘固定盘(1.4)上设置有调整气缸(1.5)，所述调整气缸(1.5)能够穿过所述调整托盘(1.2)与所述调整盘(1.1)固定连接；所述下盘(1.7)朝向所述调整盘(1.1)的表面设置有距离传感器(1.9)，所述距离传感器(1.9)用于检测所述下盘(1.7)和所述调整盘(1.1)之...

【技术特征摘要】

1.一种抛光机盘面的变形补正调整装置，所述变形补正调整装置包括下盘托盘(1.6)、下盘(1.7)、调整盘(1.1)、调整托盘(1.2)、调整托盘固定盘(1.4)，其特征在于，所述下盘托盘(1.6)、下盘(1.7)、调整盘(1.1)、调整托盘(1.2)、调整托盘固定盘(1.4)竖直方向上从下至上依次安装，所述调整托盘固定盘(1.4)上设置有调整气缸(1.5)，所述调整气缸(1.5)能够穿过所述调整托盘(1.2)与所述调整盘(1.1)固定连接；所述下盘(1.7)朝向所述调整盘(1.1)的表面设置有距离传感器(1.9)，所述距离传感器(1.9)用于检测所述下盘(1.7)和所述调整盘(1.1)之间的间距。

2.根据权利要求1所述的一种抛光机盘面的变形补正调整装置，其特征在于，所述调整气缸(1.5)设置有多个，且多个所述调整气缸(1.5)均圆周均匀的设置于所述调整托盘固定盘(1.4)上靠近外缘的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种抛光机盘面的变形补正调整装置，其特征在于，所述距离传感器(1.9)设置有多个，多个所述距离传感器(1.9)分别设置于所述下盘(1.7)的不同半径位置且多个所述距离传感器(1.9)之间的间隔角度相同。

4.根据权利要求1所述的一种抛光机盘面的变形补正调整装置，其特征在于，所述变形补正调整装置还包括电气比例阀和plc控制装置；

5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：许亮，刘庚辛，陈永康，李威，陈永福，唐湘平，
申请(专利权)人：湖南宇环精研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：