一种功率半导体模块及制作方法技术

技术编号:44001775 阅读:17 留言:0更新日期:2025-01-10 20:18
本发明专利技术涉及半导体技术,公开了一种功率半导体模块及制作方法,其包括上桥模块、下桥模块和键合单元,上桥模块与下桥模块通过键合单元连接,并形成一腔体;腔体包括第一方向上的第一边和第三边,第二方向上相对的第二边和第四边,第一边、第二边、第三边和第四边首尾相接。本发明专利技术设计的功率半导体模块,将模块内部的上桥区域和下桥区域分成两片,面对面折叠封装,键合柱外置在覆铜基板上,充分利用了纵向空间,模块整体体积相较于传统的双面水冷模块和单面水冷模块来说,缩小了百分之四十左右,同时还保存了部分双面散热的设计。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体模块技术,尤其涉及了一种功率半导体模块及制作方法


技术介绍

1、功率半导体模块作为当代电力电子设备中的核心,负责电力的转换与调节,广泛应用于光伏发电、智能家居、汽车电子以及工业电力控制系统之中。随着技术进步和设备性能的提升,功率模块的功率密度也在不断提升。高功率密度意味着功率模块的尺寸越来越大,同时会产生更多的热量,工作设备常常因为散热问题而导致设备性能降低,甚至过热损坏。

2、传统的功率模块都是单面散热为主,在有限的设备空间内,增加单面的散热片面积已经到达极限,因此业界进一步提出了双面散热技术,通过在模块的两面同时进行散热,大幅提升散热效率和热管理的灵活性, 但是对于双面散热结构,芯片需要预先化镀镍钯金转化为表面金属层的可焊状态,正面的键合柱至少4种不同规格的中间过渡材料,对应的焊料规格也涉及多种,这样模块组装的效率较低。特别是第三代半导体如sic mosfet芯片面积普遍较小,小尺寸的键合柱还容易压碎脆弱的芯片金属层。此外,多组分材料比如会造成热膨胀系数的不匹配问题,双面冷却封装两端固定的结构都会使连接模块内包括芯片等本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种功率半导体模块,其特征在于,包括上桥模块、下桥模块和键合单元,上桥模块与下桥模块通过键合单元连接,并形成一腔体;腔体包括第一方向上的第一边和第三边,第二方向上相对的第二边和第四边,第一边、第二边、第三边和第四边首尾相接;

2.根据权利要求1所述的一种功率半导体模块,其特征在于,下桥模块包括下桥基板;

3.根据权利要求1所述的一种功率半导体模块,其特征在于,上桥模块包括上桥基板,上桥基板设有上桥导电区域,上桥导电区域包括上桥功率DC键合区,NTC热敏电阻键合区、上桥开尔文源极键合区、上桥栅极键合区和上桥芯片焊接区;

4.根据权利要求2所述的一种功...

【技术特征摘要】

1.一种功率半导体模块,其特征在于,包括上桥模块、下桥模块和键合单元,上桥模块与下桥模块通过键合单元连接,并形成一腔体;腔体包括第一方向上的第一边和第三边,第二方向上相对的第二边和第四边,第一边、第二边、第三边和第四边首尾相接;

2.根据权利要求1所述的一种功率半导体模块,其特征在于,下桥模块包括下桥基板;

3.根据权利要求1所述的一种功率半导体模块,其特征在于,上桥模块包括上桥基板,...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈金秋黄兴刘昀粲
申请(专利权)人:派恩杰半导体浙江有限公司
类型:发明
国别省市:

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